检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：大卫·L·霍费尔特美国明尼苏达州

本发明提供了一种时域太赫兹(THz)测量系统，该系统包括单个基准表面。提供单个基准表面的基准梁被支撑在两个安装点处，两个安装点中的至少一个安装点是非固定安装点，以允许基准梁的热膨胀。系统在第一时间处采集不存在样品时的单个... 详细信息

标准号: CN111886473A

本发明提供了一种时域太赫兹(THz)测量系统，该系统包括单个基准表面。提供单个基准表面的基准梁被支撑在两个安装点处，两个安装点中的至少一个安装点是非固定安装点，以允许基准梁的热膨胀。系统在第一时间处采集不存在样品时的单个基准表面的空气扫描轮廓，并且在第二时间处采集存在样品时的样品扫描轮廓。系统还使用在采集空气扫描轮廓和样品扫描轮廓时收集的在样品边界之外的两个基准点处的距离测量结果来进行空气扫描轮廓的线性校正。系统测量样品的一个或多个特性，包括例如样品的厚度轮廓和样品的有效折射率轮廓。

关键词：基准表面扫描轮廓安装点样品扫描基准梁采集热膨胀距离测量结果有效折射率测量系统厚度轮廓系统测量线性校正基准点时域支撑

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具有单个基准表面的时域太赫兹测量系统

具有单个基准表面的时域太赫兹测量系统

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作者：大卫·L·霍费尔特美国明尼苏达州

标准号: CN111886473B

关键词：基准表面扫描轮廓安装点样品扫描基准梁采集热膨胀距离测量结果有效折射率测量系统厚度轮廓系统测量线性校正基准点时域支撑

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干涉物镜及基准表面单元组

干涉物镜及基准表面单元组

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作者：半田博久日本神奈川县

本发明公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的... 详细信息

标准号: CN107036548B

本发明公开了干涉物镜及基准表面单元组。干涉物镜包括：物镜，构造成将从光源发出的光朝向测量目标汇聚；具有基准表面的基准表面单元；以及分束器，该分束器构造成将已经通过物镜的光分成面朝向基准表面的基准光路和面朝向测量目标的测量光路，以将来自基准表面的反射光和来自测量目标的反射光合成，并将其作为干涉光输出，其中干涉表面单元被构造成可置换的。

关键词：基准表面物镜朝向测量反射光分束器干涉表面单元测量光路基准光路单元组干涉光可置换光源和面测量合成汇聚输出

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干涉物镜及基准表面单元组

干涉物镜及基准表面单元组

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作者：半田博久日本神奈川县

标准号: CN107036548A

关键词：基准表面物镜朝向测量反射光分束器干涉表面单元测量光路基准光路单元组干涉光可置换光源和面测量合成汇聚输出基准表面倾斜调节可拆卸物镜干涉

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三维表面微观形貌的表征参数和方法

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宇航计测技术 1999年第6期19卷 33-43页

作者：李成贵董申哈尔滨工业大学

近几年，由于计算能力、速度和图像、数据处理技术的不断提高，极大地推进了３Ｄ表面微观形貌测量仪的实用化和商品化，同时也增加了研究者对３Ｄ分析的兴趣。总结了近期文献中出现的３Ｄ分析方法和表征参数，如：基准表面、图形... 详细信息

近几年，由于计算能力、速度和图像、数据处理技术的不断提高，极大地推进了３Ｄ表面微观形貌测量仪的实用化和商品化，同时也增加了研究者对３Ｄ分析的兴趣。总结了近期文献中出现的３Ｄ分析方法和表征参数，如：基准表面、图形（像）表征、参数表征以及Ｍｏｔｉｆ和分形表征方法，旨在促进我国对３Ｄ表面研究的发展。最后提出了３Ｄ表征技术的任务和发展方向。

关键词：表面形貌表面分析基准表面图形表征

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用于对三维成形的衬底表面覆层的溅射设备和溅射方法

用于对三维成形的衬底表面覆层的溅射设备和溅射方法

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作者： M·波特卡 M·克雷斯 M·盖斯勒 F·P·施瓦兹德国凯瑟尔斯多夫

本发明涉及一种用于将层沉积在三维衬底表面上的溅射设备。溅射设备具有至少一个真空接口、用于导入和产生工艺气体的气体输送装置、用于相对于衬底保持装置的衬底基准表面固持衬底的衬底保持装置、和多个同类的或不同类的溅射源，溅射... 详细信息

标准号: CN109136876B

本发明涉及一种用于将层沉积在三维衬底表面上的溅射设备。溅射设备具有至少一个真空接口、用于导入和产生工艺气体的气体输送装置、用于相对于衬底保持装置的衬底基准表面固持衬底的衬底保持装置、和多个同类的或不同类的溅射源，溅射源分别通过其自身的源固持件保持并且这些溅射源在其朝向覆层区域的溅射表面上分配有单独的基准点，其中溅射源彼此间隔开以二维阵列设置，该二维阵列沿源基准表面延伸，并且其中，至少一个溅射源的源固持件可调节到源基准表面的非零的源间距，在溅射源的基准点和源基准表面之间沿源基准表面贯穿的基准点的表面法线测量。

关键词：溅射源基准表面基准点衬底保持装置二维阵列溅射设备固持件衬底气体输送装置表面法线衬底表面覆层区域工艺气体溅射表面真空接口可调节非零固持沉积三维测量延伸分配贯穿

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金刚石复相材料表面的加工方法

金刚石复相材料表面的加工方法

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作者：陈俊云许挂帅靳田野刘兵赵智胜 066004 河北省秦皇岛市海港区河北大街438号

本申请涉及一种金刚石复相材料表面的加工方法，该加工方法包括：采用机械研磨法对金刚石复相材料的加工表面进行研磨；采用化学机械抛光法对研磨后的加工表面进行抛光处理，以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm，且损伤层厚度基本为零，... 详细信息

标准号: CN113182938B

本申请涉及一种金刚石复相材料表面的加工方法，该加工方法包括：采用机械研磨法对金刚石复相材料的加工表面进行研磨；采用化学机械抛光法对研磨后的加工表面进行抛光处理，以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm，且损伤层厚度基本为零，其中，粗糙度均值Sa为在金刚石复相材料的取样面积内，测量表面上的各点到基准表面的高度的绝对值的算术平均值。该加工方法可以高效率、高精度地加工金刚石复相材料的表面，且表面基本无损伤，操作简单，加工成本低，有利于推广使用。

关键词：金刚石复相材料加工表面加工研磨粗糙度化学机械抛光法机械研磨法基准表面抛光处理高效率损伤层无损伤算术取样测量申请

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一种组合表面定位的可调支承胎具

一种组合表面定位的可调支承胎具

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作者：王磊刘克希李敬左俊李伟代晨晖刘斌尚帅夏阳 213000 江苏省常州市五一路258号

本发明公开了一种组合表面定位的可调支承胎具，包括胎具台面、胎具中间轴顶板、胎具中间轴、胎具底板，自由状态下放置时胎具底板和机床工作台接触，变形垫块材质相对机床工作台软和有上下位移间隙，顶出螺栓旋入胎具底板上的螺纹孔后... 详细信息

标准号: CN117532372A

本发明公开了一种组合表面定位的可调支承胎具，包括胎具台面、胎具中间轴顶板、胎具中间轴、胎具底板，自由状态下放置时胎具底板和机床工作台接触，变形垫块材质相对机床工作台软和有上下位移间隙，顶出螺栓旋入胎具底板上的螺纹孔后与变形垫块接触和使变形垫块变形，变形垫块变形后替代局部胎具底板与机床工作台接触，限位垫块在胎具台面上滑动至接触或临近工件后固定。本支承胎具采用调整支承元件定位表面的方式调平工件的定位表面或调平用于找正的基准表面，避免对无配合要求的表面提出高精度加工要求，并联合内孔定位降低工件找正时长。

关键词：胎具变形底板垫块机床工作台定位表面中间轴调平找正高精度加工顶出螺栓基准表面可调支承内孔定位上下位移限位垫块支承胎具支承元件自由状态组合表面滑动台面螺纹孔时长旋入下放替代配合联合

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用于对三维成形的衬底表面覆层的溅射设备和溅射方法

用于对三维成形的衬底表面覆层的溅射设备和溅射方法

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作者： M·波特卡 M·克雷斯 M·盖斯勒 F·P·施瓦兹德国凯瑟尔斯多夫

标准号: CN109136876A

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金刚石复相材料表面的加工方法

金刚石复相材料表面的加工方法

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作者：陈俊云许挂帅靳田野刘兵赵智胜 066004 河北省秦皇岛市海港区河北大街438号

标准号: CN113182938A

关键词：金刚石复相材料加工表面加工研磨粗糙度化学机械抛光法机械研磨法基准表面抛光处理高效率损伤层无损伤算术取样测量申请

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