检索结果-内蒙古大学图书馆

压电与声光 2003年第2期25卷 87-90,97页

作者：李平文玉梅王军峰黄尚廉重庆大学光电工程学院重庆400044

由于电磁波的速度比声表面波的速度快得多,叉指换能器在进行电声转换的同时,也降低了信号能量流的速度,在一定时间内蓄积了电磁能量,所以当电磁激励结束后的一定时间内,声表面波器件仍然有瞬态输出,这是声表器件实现无源无线传感的物理... 详细信息

由于电磁波的速度比声表面波的速度快得多,叉指换能器在进行电声转换的同时,也降低了信号能量流的速度,在一定时间内蓄积了电磁能量,所以当电磁激励结束后的一定时间内,声表面波器件仍然有瞬态输出,这是声表器件实现无源无线传感的物理基础。该文通过推导声表面波谐振器各部分的冲激响应函数,得到谐振器的冲激响应,据此分析研究声表面波谐振器在各种激励下的响应波形和特征。分析表明声表面波谐振器的瞬态响应完全反映了器件的性能参数。

关键词：声表面波声表面波器件声表面波谐振器时域分析

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GHz频带声表面波谐振器的研究

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电子学报 2005年第5期33卷 908-911页

作者：范子坤葛惟昆航天二院二十三所北京100854 香港科技大学物理系

　本文叙述了GHz频带声表面波谐振器的设计、制造和试验结果.对两种不同模式的声表面波谐振器进行了研究,它们是瑞利波型谐振器和表面横波型谐振器.对两种波型谐振器的频率温度特性进行了比较.最后对表面横波(STW)谐振器在振荡器中的应... 详细信息

　本文叙述了GHz频带声表面波谐振器的设计、制造和试验结果.对两种不同模式的声表面波谐振器进行了研究,它们是瑞利波型谐振器和表面横波型谐振器.对两种波型谐振器的频率温度特性进行了比较.最后对表面横波(STW)谐振器在振荡器中的应用进行了研究.

关键词：声表面波谐振器瑞利波表面横波

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声表面波谐振器无源无线传感虚拟仪器系统

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传感器技术 2004年第11期23卷 86-88页

作者：郑敏李平文玉梅杨进重庆大学研究生创新实验室重庆400030 重庆大学光电工程学院重庆400030

分析了在通用硬件平台上结合软件设计的声表面波谐振器无源无线传感虚拟仪器系统。该系统通过设计虚拟仪器实现部分硬件功能,控制闭环系统实现自动检测,并采用数字信号处理方法提高检测系统的精度,从而避免了通常的复杂硬件系统,降低硬... 详细信息

分析了在通用硬件平台上结合软件设计的声表面波谐振器无源无线传感虚拟仪器系统。该系统通过设计虚拟仪器实现部分硬件功能,控制闭环系统实现自动检测,并采用数字信号处理方法提高检测系统的精度,从而避免了通常的复杂硬件系统,降低硬件成本,并使检测更灵活。本文介绍了设计原理和系统构成,并对系统的误差进行了分析。实验表明:该仪器系统能够达到5m的无线检测距离。

关键词：虚拟仪器系统无源声表面波谐振器无线硬件平台通用传感数字信号处理功能系统构成

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基于钽酸锂薄膜衬底的声表面波谐振器

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天津大学学报（自然科学与工程技术版） 2022年第10期55卷 1093-1100页

作者：杨清瑞王志超宋学毅王昭勋陈雪娇张师斌天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

在5G通信时代,声表面波(SAW)滤波器作为射频前端滤波器的一种重要解决方案,面临着频率提升和带宽拓展的双重困难,其性能优劣直接影响整个通信系统的质量.近年来,随着离子切片技术的成熟,压电单晶薄膜技术给SAW滤波器带来了新转机.与传统... 详细信息

在5G通信时代,声表面波(SAW)滤波器作为射频前端滤波器的一种重要解决方案,面临着频率提升和带宽拓展的双重困难,其性能优劣直接影响整个通信系统的质量.近年来,随着离子切片技术的成熟,压电单晶薄膜技术给SAW滤波器带来了新转机.与传统的42°Y切钽酸锂(LiTaO3)衬底相比,基于离子切片技术的同切型钽酸锂-二氧化硅-硅(42°Y-cut LiTaO3-on-insulator,42-LTOI)衬底能有效提升器件的性能.通过研究基于42-LTOI衬底的SAW谐振器的设计参数与其各性能指标(性能系数、机电耦合系数、寄生模式抑制)之间的关系,可以为进一步设计满足5G通信频段要求的SAW滤波器提供指导.通过理论分析、有限元仿真与实验测试相对比的方法,在谐振器优化设计方面得到以下结论:增加谐振器的电极对数或者电极孔径,能够有效提升器件的性能系数,其中增加电极对数的作用更为明显;在具有相同静态电容的谐振器中,电极孔径与电极对数的比值越小(即谐振器的形状在声波传播方向上越狭长),器件的性能系数越高;谐振器的机电耦合系数随电极周期增加呈现先增大后减小的趋势,在本实验使用的衬底参数下,当电极周期为1.8μm时,具有10.8%的理论最大值;谐振器的寄生模式响应会随电极对数的增加而逐渐增强,采用赝电极结构可以有效抑制寄生响应.

关键词：钽酸锂薄膜衬底声表面波谐振器性能系数机电耦合系数寄生模式抑制

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应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器

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声学学报 2013年第6期38卷 694-698页

作者：王文谢晓邵秀婷刘明华何世堂中国科学院声学研究所北京100190

为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀... 详细信息

为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2．5mm金属薄层构成。谐振器采用铝／金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模（COM）理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果，实验研制了基于300MHz频率的新型铝／金电极SAW两端对谐振器，测试结果显示所研制器件具有较低损耗（〈7dB），较高Q值（-3000）以及单一谐振模式的特点，并且，以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度（t15Hz／h），这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。

关键词：声表面波谐振器气体传感器金电极单模式应用频率稳定度器件性能铝

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声表面波谐振器的声速调控技术研究

声表面波谐振器的声速调控技术研究

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作者：石斌电子科技大学

学位级别：硕士

随着移动通信技术的快速发展,对高性能声表面波滤波器需求也不断攀升。移动通信频段的数量持续增加以满足高速移动通信数据的巨大需求,每个移动终端中都使用了许多声表面波滤波器和双工器以支持更多频段,在此情况下迫切需要减小声表面... 详细信息

随着移动通信技术的快速发展,对高性能声表面波滤波器需求也不断攀升。移动通信频段的数量持续增加以满足高速移动通信数据的巨大需求,每个移动终端中都使用了许多声表面波滤波器和双工器以支持更多频段,在此情况下迫切需要减小声表面波器件的尺寸。作为实现小型化的一种解决方案,本文对以低切角铌酸锂为压电材料的声表面波谐振器的声速调控技术进行研究,在降低声速的同时保持其他重要性能,从而实现高性能的低声速声表面波谐振器设计对低声速水平剪切声表面波谐振器进行设计研究,包括金属电极结构的设计,重金属电极的材料特性对声速和机电耦合系数的影响。并采用重金属和高电导金属层组合的双层电极结构提高整体电导率以减小欧姆损耗。对双层电极结构设计,电极材料的选择及电极材料特性对器件性能的影响展开研究。完成使用重金属电极的降速技术研究,得到单层电极及双层电极的设计规律。此外,研究铌酸锂切角对杂散抑制作用和铌酸锂最佳切角设计,通过调整铌酸锂的切角实现对杂散模态瑞利模态的抑制。并研究在不同电极厚度情况下的最佳切角变化情况及使用最佳切角时对机电耦合系数的影响,完成铌酸锂最佳切角的设计研究。将双层电极结构应用在高性能声表面波谐振器结构中以进一步改善提升谐振器性能。对高性能声表面波谐振器结构的多层结构参数设计展开研究,得到压电层铌酸锂层及功能层二氧化硅层的厚度设计规律。并通过对铌酸锂层及二氧化硅层厚度的优化设计完成谐振器的温度补偿设计。最后,使用优化的结构参数进行周期性三维模型的横向设计,完成横向模态抑制。

关键词：声表面波谐振器水平剪切声表面波铌酸锂低声速小型化

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基于AlN/α-SiC的声表面波谐振器应变响应特性

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清华大学学报（自然科学版） 2016年第10期56卷 1061-1065页

作者：陈硕尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

面向高温环境应用的微纳传感器在燃气轮机健康监控、地热井环境监控等领域具有广泛的应用前景。该文主要介绍了一种基于AlN薄膜和α-SiC衬底的声表面波谐振器,讨论了谐振器的应变敏感性来源,提出了一种基于应变场-波速关系计算谐振器应... 详细信息

面向高温环境应用的微纳传感器在燃气轮机健康监控、地热井环境监控等领域具有广泛的应用前景。该文主要介绍了一种基于AlN薄膜和α-SiC衬底的声表面波谐振器,讨论了谐振器的应变敏感性来源,提出了一种基于应变场-波速关系计算谐振器应变敏感系数的方法。采用微纳米加工工艺加工了谐振器,并进行了材料表征。测量了谐振器的应变敏系数:具有1.5μm厚AlN压电薄膜的AlN/α-SiC基声表面波谐振器在298K下应变敏感系数为0.515×10-6/με,与计算结果具有较好一致性。

关键词：声表面波谐振器氮化铝碳化硅应变响应

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基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器

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压电与声光 2019年第1期41卷 4-8页

作者：姜建利杨雪梅刘婉白飞明电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都610054

该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器。首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAl... 详细信息

该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器。首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAlN薄膜进行结构分析;最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台测试S参数和群时延。结果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱状生长且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;当ScAlN压电薄膜厚为0.7μm,波长为15.74μm时,SAW谐振器的谐振频率为218.75 MHz,相速度为3 443m/s,机电耦合系数为0.06%,与COMSOL仿真计算结果较吻合。

关键词： FeGa合金衬底磁致伸缩效应 ScAlN薄膜磁电效应声表面波谐振器

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基于频域相位信息的声表面波谐振器回波频率估计

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计量学报 2020年第7期41卷 848-851页

作者：李亚飞陈智军朱卫俊黄鸿伟熊志强南京航空航天大学自动化学院江苏南京211106 南京航空航天大学高速载运设施的无损检测和监控技术工信部重点实验室江苏南京211106 中电科技德清华莹电子有限公司浙江德清313200

提出一种基于频域相位信息的频率估计算法,利用正弦信号傅里叶变换相位谱中相位与频率的关系实现对声表面波谐振器回波频率的估计,并采用自相关运算消除回波信号初相位对估计结果的影响。通过无线测试系统和仿真回波信号对该算法进行了... 详细信息

提出一种基于频域相位信息的频率估计算法,利用正弦信号傅里叶变换相位谱中相位与频率的关系实现对声表面波谐振器回波频率的估计,并采用自相关运算消除回波信号初相位对估计结果的影响。通过无线测试系统和仿真回波信号对该算法进行了验证,表明算法的频率估计精度不受激励信号频率变化的影响,并且在整个声表面波谐振器的谐振频率变化范围内都具有较高的精度和稳定性。

关键词：计量学频率估计相位谱回波信号自相关运算声表面波谐振器

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高Q值声表面波谐振器研究进展

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压电与声光 2022年第6期44卷 841-846页

作者：赵钊高杨张树民西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 特殊环境机器人技术四川省重点实验室四川绵阳621010 杭州左蓝微电子技术有限公司浙江杭州310000

声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一... 详细信息

声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一维声子晶体。结果表明,通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束,以提升谐振器Q值,最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构。

关键词：声表面波谐振器品质因数异质声学层声子晶体声场能量

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