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  • 1 篇 台湾积体电路制造...

作者

  • 1 篇 卢永诚
  • 1 篇 蔡明兴

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  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=复合低介电常数"
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双镶嵌结构、内连结构及其制造方法
双镶嵌结构、内连结构及其制造方法
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作者: 卢永诚 蔡明兴 中国台湾新竹市
本发明关于一种内连结构及其制造方法,上述内连结构包括:基底,其内设置有导电构件;复合低介电常数介电层,位于该基底上,其内设置有至少一个应力调和层;以及导电物,位于该复合低介电常数介电层内,通过该应力调和层并电连接于该... 详细信息
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