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作者

  • 1 篇 管钰晴
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  • 1 篇 杜黎明
  • 1 篇 傅云霞
  • 1 篇 平少栋

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=复合型膜厚标准样片"
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基于穆勒椭偏的纳米薄膜厚度测量与溯源
收藏 引用
微纳电子技术 2021年 第12期58卷 1121-1127页
作者: 杜黎明 管钰晴 孔明 平少栋 谢张宁 雷李华 傅云霞 中国计量大学计量测试工程学院 杭州310018 上海市计量测试技术研究院 上海201203 上海市在线检测与控制技术重点实验室 上海201203
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究。设计了一套复合型膜厚标准样片,采用多种仪器测量其膜厚并对测量结果进行有效比对,给出相应的不确定度评... 详细信息
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