咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 复合微纳结构表面
  • 1 篇 中红外抗反射
  • 1 篇 氧化铝原子层沉积
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 弹性恢复率

机构

  • 1 篇 长春理工大学

作者

  • 1 篇 付跃刚
  • 1 篇 马子烨
  • 1 篇 欧阳名钊
  • 1 篇 张自强
  • 1 篇 吴锦双
  • 1 篇 周见红
  • 1 篇 任航

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=复合微纳结构表面"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
中红外仿生复合微纳结构减反射表面研究
收藏 引用
光学学报 2022年 第10期42卷 247-255页
作者: 马子烨 欧阳名钊 付跃刚 吴锦双 周见红 任航 张自强 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室 吉林长春130022
利用原子层沉积技术共形生长的特点,同时利用自组装掩模刻蚀技术,在单晶硅基底上制备了具有低深宽比和满占空比特点的Al_(2)O_(3)-Si复合微纳结构表面。光谱反射率测试结果表明,在底端满占空比、微结构深宽比接近1:1的情况下,入射角在8&... 详细信息
来源: 评论