检索结果-内蒙古大学图书馆

科学技术与工程 2013年第34期21卷 10150-10154页

作者：闫明明鲍爱达郭涛中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051

针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案。理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装。仿真分析主要通过AN... 详细信息

针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案。理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装。仿真分析主要通过ANSYS软件进行复合量程加速度计热应力仿真,确定了复合量程加速度计的陶瓷封装管壳的厚度。通过静态特性测试及动态特性测试等进一步验证了该封装结构具有抗过载能力。

关键词：复合量程微加速度计 MEMS 封装 ANSYS 仿真

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复合量程微加速度计抗高过载技术研究

复合量程微加速度计抗高过载技术研究

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作者：徐香菊中北大学

学位级别：硕士

随着MEMS技术的广泛应用，加速度计阵列研究已经成为MEMS器件研究的重要研究方向。复合量程加速度计是覆盖0-10g到0-1万g的加速度计阵列，应用领域涉及到工业，国防等社会生活的许多方面。在高过载环境下复合量程加速度计应用还存在着... 详细信息

随着MEMS技术的广泛应用，加速度计阵列研究已经成为MEMS器件研究的重要研究方向。复合量程加速度计是覆盖0-10g到0-1万g的加速度计阵列，应用领域涉及到工业，国防等社会生活的许多方面。在高过载环境下复合量程加速度计应用还存在着需要解决的问题：1.在测量高g值加速度时，复合量程加速度计低量程模块正常。2.复合量程加速度计的封装抗高过载能力不能满足复合量程加速度计正常工作。3.复合量程加速度计在多次高过载冲击下性能的稳定性差。本文通过对复合量程加速度计的抗过载能力测试，分析复合量程加速度计在高过载环境中存在的问题，提出适合提高复合量程加速度计抗高过载性能的解决方案。对优化后的复合量程加速度计测试表明所设计的加速度计结构和封装具有可行性和适用性，能够很好地满足复合量程加速度计在高过载环境下工作要求。论文中分析复合量程加速度计高过载环境下失效机理。并对复合量程加速度计进行大量实验测试，分析出在过载环境下出现的问题。结合理论分析提出复合量程加速度计结构优化方案和封装结构优化设计方案。对优化后的结构使用ANSYS有限元软件进行仿真分析，结果表明复合量程加速度计结构抗过载能力提高，能够满足2万g抗过载要求。针对复合量程加速度计在实验测试中封装出现的问题，重新设计加速度计封装，使用有限元方法进行仿真分析管壳，贴片胶及灌封胶对复合量程加速度计封装的影响，并确定封装结构参数。试验测试结果表明优化后的复合量程加速度计抗过载能力有了明显提高，能过满足2万g加速度过载的要求。

关键词：复合量程微加速度计封装 ANSYS仿真

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复合量程微加速度计封装热应力的研究

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仪表技术与传感器 2011年第2期 9-11,15页

作者：向婷郭涛林大为刘鹏飞中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051

贴片胶的选择和贴片工艺对MEMS封装器件的可靠性和有效性影响很大。针对贴片胶固化时热效应的影响,分析复合量程微加速度计封装热应力产生的机理。从贴片胶的材料特性出发,分析贴片胶的厚度、杨式模量及热膨胀系数对硅芯片所受到封装热... 详细信息

贴片胶的选择和贴片工艺对MEMS封装器件的可靠性和有效性影响很大。针对贴片胶固化时热效应的影响,分析复合量程微加速度计封装热应力产生的机理。从贴片胶的材料特性出发,分析贴片胶的厚度、杨式模量及热膨胀系数对硅芯片所受到封装热应力的影响。并通过有限元仿真分析,确定了适合复合量程加速度计封装的贴片胶材料及使用厚度,并用拉曼光谱仪对封装后的应力进行了测试,结果显示应力较小,封装效果良好。

关键词：复合量程微加速度计贴片胶封装热应力 ANSYS仿真

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复合量程微加速度计的研究

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传感技术学报 2006年第5B期19卷 2200-2203页

作者：熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051

在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满... 详细信息

在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.

关键词：复合量程微加速度计压阻式抗过载体硅工艺线性度

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复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

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传感技术学报 2006年第5B期19卷 2186-2189页

作者：毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-... 详细信息

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.

关键词：复合量程微加速度计压阻式二阶系统阻尼

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复合量程微加速度计的研究

复合量程微加速度计的研究

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051

在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,本文介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100 g、500g、1000 g和2000 g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.

关键词：复合量程微加速度计压阻式抗过载体硅工艺线性度传感器

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复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当... 详细信息

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.

关键词：复合量程微加速度计压阻式二阶系统阻尼传感器

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