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文献类型

  • 1 篇 学位论文

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 管理科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 多模型建模
  • 1 篇 智能决策
  • 1 篇 多目标统计建模
  • 1 篇 低温阳极键合

机构

  • 1 篇 苏州大学

作者

  • 1 篇 朱宗建

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=多目标统计建模"
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排序:
低温阳极键合多目标工艺建模与参数智能优化
低温阳极键合多目标工艺建模与参数智能优化
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作者: 朱宗建 苏州大学
学位级别:硕士
阳极键合具有工艺简单、键合质量好等优点,在MEMS器件与集成电路等领域的封装工艺中被广泛应用。常规阳极键合工艺需要在高温条件下完成,造成因材料热膨胀系数不同产生的热应力匹配问题,影响键合高性能元器件的性能,因此300℃以下的低... 详细信息
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