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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 双伺服环控制
  • 1 篇 纳米定位
  • 1 篇 数字滤波
  • 1 篇 两级进给
  • 1 篇 大量程计量型扫描...

机构

  • 1 篇 清华大学

作者

  • 1 篇 李岩
  • 1 篇 刘振
  • 1 篇 liu zhen
  • 1 篇 li yan

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=大量程计量型扫描显微镜"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
计量扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制
收藏 引用
光电子.激光 2010年 第7期21卷 957-962页
作者: 刘振 李岩 清华大学精密仪器与机械学系 精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084
为克服现有计量扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描显微镜,实现了一种大行程纳米定位系统,用于显微镜扫描定位。系统包括伺服电机驱动的两维机械位移台和... 详细信息
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