摘要摘要本文整合失效模式、效應與關鍵性分析、故障樹及事件樹等三種分析方法，建立半導體製程改善研究架構，並探討其中每個步驟的執行方式與所需資訊。並以某半導體廠爲實證研究對象，利用三個實例，探討如何利用本研究架構以改善半導體製程技術，以及討論實際推動時，所需條件及其效益，最後則以後續研究作爲結論。本研究成果除了作爲半導體製程技術研發與改善之輔助，並將各個製程失效機率及失效後之成本損失計算納入分析架構當中，用以定義出那些是關鍵性製程及估算製程進行改善後之成本-效益，因此，可以當成半導體製程技術知識整理與管理之重要工具。AbstractThis study integrated Failure Mode Effect and Criticality Analysis, Fault Tree, and Event Tree methods to develop a research framework for improving process technology in semiconductor industry. We specified the steps of the required data and cost for the implementation of FMEA. In particular, we used three cases in a semiconductor fabrication for illustrations. We discussed the requirements for implementing FMEA at high-tech industries, and concluded with future research. We found that the proposed framework can be used as a basis for improving process technologies and managing domain knowledge and findings.
目的探讨失效模式与效应分析(effect of failure mode and effect analysis,FMEA)在降低重症监护病房(intensive care unit,ICU)患者肠内营养(enteral nutrition,EN)相关性腹泻中的应用成效。方法目的抽样法选取某院ICU 2021年5月和9月...
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目的探讨失效模式与效应分析(effect of failure mode and effect analysis,FMEA)在降低重症监护病房(intensive care unit,ICU)患者肠内营养(enteral nutrition,EN)相关性腹泻中的应用成效。方法目的抽样法选取某院ICU 2021年5月和9月实施EN的患者及执行护士做为研究对象,其中2021年5月实施EN的患者为对照组,2021年9月实施EN的患者为干预组。对照组采用常规EN操作流程;干预组采用经FMEA优化后的操作流程,对筛选出的高危失效模式进行有针对性的整改。统计分析两组患者EN腹泻发生率、高危失效模式风险优先指数(risk priority number,RPN)及高危失效模式发生率的变化。结果干预组患者EN相关性腹泻发生率、RPN分值及高危失效模式发生率均显著下降,差异均有统计学意义(均P<0.05)。结论运用FMEA质量改进工具,可有效降低ICU患者肠内营养相关性腹泻发生率,保证肠内营养的顺利实施。
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