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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 理学
    • 2 篇 物理学
  • 2 篇 工学
    • 2 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 2 篇 碳纳米墙
  • 2 篇 碳纳米片
  • 2 篇 射频等离子增强化...

机构

  • 2 篇 西安交通大学

作者

  • 2 篇 刘卫华
  • 2 篇 朱长纯
  • 2 篇 党涛

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=射频等离子增强化学气相淀积"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
多皱纹纳米石墨片的制备及其工艺研究
收藏 引用
半导体技术 2008年 第S1期33卷 383-385,389页
作者: 刘卫华 党涛 朱长纯 西安交通大学电子与信息工程学院 西安710049
在500℃下,采用PECVD法在以玻璃为衬底的多种金属镀层上成功制备出纳米石墨片。SEM分析表明,不同催化剂层上生长的二维纳米石墨片在形态上存在显著区别。在所涉及的工艺参数范围内,Ni/Zn复合金属镀层上二维纳米石墨片的生长效率最高,且... 详细信息
来源: 评论
多皱纹纳米石墨片的制备及其工艺研究
多皱纹纳米石墨片的制备及其工艺研究
收藏 引用
第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议
作者: 刘卫华 党涛 朱长纯 西安交通大学电子与信息工程学院
在500℃下,采用PECVD法在以玻璃为衬底的多种金属镀层上成功制备出纳米石墨片。SEM分析表明,不同催化剂层上生长的二维纳米石墨片在形态上存在显著区别。在所涉及的工艺参数范围内,Ni/Zn复合金属镀层上二维纳米石墨片的生长效率最高,且... 详细信息
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