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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 信息与通信工程
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    • 1 篇 软件工程

主题

  • 1 篇 双频激光干涉仪
  • 1 篇 工作台位移测量
  • 1 篇 衍射波前
  • 1 篇 误差分析
  • 1 篇 扫描干涉场曝光系...

机构

  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院长春光...

作者

  • 1 篇 巴音贺希格
  • 1 篇 姜珊
  • 1 篇 周文渊
  • 1 篇 王新宇
  • 1 篇 李文昊
  • 1 篇 王玮
  • 1 篇 刘兆武

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=工作台位移测量"
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排序:
扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
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中国光学(中英文) 2025年 第2期18卷 224-236页
作者: 王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 中国科学院大学 北京101408
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台位移测量误差,分析了激光干涉仪自身... 详细信息
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