咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 2 篇 专利

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国工程物理研究...

作者

  • 1 篇 黄健树
  • 1 篇 车录锋
  • 1 篇 张剑瑜
  • 1 篇 刘猛
  • 1 篇 唐彬
  • 1 篇 周晓峰
  • 1 篇 李伟

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=差分电容式结构"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
一种多差分电容式加速度传感器
一种多差分电容式加速度传感器
收藏 引用
作者: 唐彬 张剑瑜 刘猛 黄健树 621999 四川省绵阳市绵山路64号
本发明公开了一种多差分电容式微机械加速度传感器。该加速度传感器包括上极板、上结构敏感单元、中间极板、下结构敏感单元和下极板;上极板和上结构敏感单元上表面组成电容C1的上下极板,上结构敏感单元下表面和中间极板上表面形成电... 详细信息
来源: 评论
单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
收藏 引用
作者: 李伟 周晓峰 车录锋 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法,其中,制作方法至少包括如下步骤:提供一上硅片、一下硅片,分别制作上电极盖板和下电极盖板;提供一中间硅片,于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的... 详细信息
来源: 评论