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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 热释放谱
  • 1 篇 弹性前冲散射分析
  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 x射线衍射
  • 1 篇

机构

  • 1 篇 复旦大学
  • 1 篇 表面物理与化学国...

作者

  • 1 篇 赖新春
  • 1 篇 施立群
  • 1 篇 贾建平
  • 1 篇 王庆富

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=弹性前冲散射分析"
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直流磁控溅射法制备含氦铝膜
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原子能科学技术 2006年 第3期40卷 372-376页
作者: 贾建平 施立群 赖新春 王庆富 表面物理与化学国家重点实验室 四川绵阳621907 复旦大学现代物理研究所应用离子束物理实验室 上海200433
采用氦氩混合气氛下直流磁控溅射沉积方法制备含有氦原子的金属铝膜。经碳原子弹性前冲散射分析(C-ERDA),薄膜中氦原子浓度可达约7%,且分布均匀。实验研究了薄膜中的氦含量与溅射真空室气氛中氦的相对含量、基底偏压及沉积温度间的关系... 详细信息
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