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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 刻度温漂
  • 1 篇 封装效应
  • 1 篇 弹性模量的温度系...
  • 1 篇 电容式微加速度计
  • 1 篇 半解析模型
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 西南交通大学
  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 电子科技大学

作者

  • 1 篇 谢进
  • 1 篇 杜连明
  • 1 篇 何晓平
  • 1 篇 周吴
  • 1 篇 何江波

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=弹性模量的温度系数"
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排序:
电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型
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传感技术学报 2016年 第1期29卷 45-50页
作者: 何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴 西南交通大学机械工程学院 成都610031 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900 电子科技大学机械电子工程学院 成都611731
针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量温度系... 详细信息
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