检索结果-内蒙古大学图书馆

生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度.

关键词：微传感器读取电路单芯片集成系统

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基于聚合物碳黑混合物气敏微传感器的研究

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传感技术学报 2005年第3期18卷 504-506,513页

作者：杨秋冬谢海芬孙晓翔黄宜平复旦大学微电子研究院上海200433 华东理工大学物理系上海201512

通过四种不同的聚合物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上,可以得到这种新型的化学气敏电阻型微传感器,将这四种不同聚合物的微传感器分别对丙酮、乙醇、甲醇、甲苯四种有机类气体进行了测试,比较其电阻的相对变化率,利用其响应... 详细信息

通过四种不同的聚合物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上,可以得到这种新型的化学气敏电阻型微传感器,将这四种不同聚合物的微传感器分别对丙酮、乙醇、甲醇、甲苯四种有机类气体进行了测试,比较其电阻的相对变化率,利用其响应的主元分析可以将四种气体区分开,并且在一定范围内,电阻的相对变化率可呈一定的线性分布。

关键词：微传感器聚合物碳黑混合物气敏传感器

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微传感器与微机器人研究

微传感器与微机器人研究

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作者：梅涛中国科学技术大学

学位级别：博士

作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获得了在该实验室条件下硅腐蚀的基本数据和凸角补偿公式,加工出微型双端固支硅梁,实现了硅片的高温和常温... 详细信息

作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获得了在该实验室条件下硅腐蚀的基本数据和凸角补偿公式,加工出微型双端固支硅梁,实现了硅片的高温和常温静电键合,为后续研究创造了良好的实验条件.

关键词： MEMS 微传感器微机器人微机械加工尺度效应三维力传感器触觉传感器游泳机器人智能武器

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热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展

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实验流体力学 2017年第2期31卷 26-33,43页

作者：孙宝云马炳和邓进军姜澄宇西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室西安710072

基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状,重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度,对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测... 详细信息

基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状,重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度,对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。

关键词： MEMS 热敏壁面剪应力微传感器测试技术

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微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术

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半导体技术 1999年第4期24卷 19-23页

作者：姚雅红吕苗赵彦军崔战东清华大学精仪系导航与控制教研室河北半导体研究所

介绍了硅－玻璃静电键合的基本原理，阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程。结合其在微机械传感器中的应用，讨论了粗糙表面的键合技术。

关键词：微机械加工硅-玻璃加工静电键合微传感器

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微传感器的嵌入对智能轴承结构机械性能影响的一些理论分析

微传感器的嵌入对智能轴承结构机械性能影响的一些理论分析

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作者：吕青东北大学

学位级别：硕士

嵌入微传感器的智能轴承技术是近年来国际上最新研究发展的一种机电一体化技术,其基本思想是在不破坏原轴承机械性能的前提下将微传感器嵌入到传统的轴承体内,并通过专用信号放大与处理集成电路将微传感器采集到的相关故障信号就近放大... 详细信息

嵌入微传感器的智能轴承技术是近年来国际上最新研究发展的一种机电一体化技术,其基本思想是在不破坏原轴承机械性能的前提下将微传感器嵌入到传统的轴承体内,并通过专用信号放大与处理集成电路将微传感器采集到的相关故障信号就近放大后传输(有线或无线方式)给后续的检测与分析系统.这种新型的智能轴承由于其极高的灵敏度、抗干扰性和可靠性,在诸如军事、航天、核电站以及大型机电设备等重要设备轴承系统的故障早期预测与诊断方面有巨大的应用前景.该课题是在国家\"十五\"211工程项目投资建设下,在东北大学进行研究.嵌入式智能轴承技术涉及到智能轴承机械结构的设计与分析、微传感器的设计与开发、信号采集与传输技术、故障信号的处理与分析技术等多门技术,但作为前期建设阶段,该文主要研究内容及得到的一些结论如下:1)智能轴承的结构设计:即解决采集数据的微机电传感器如何与监测的对象——轴承相结合,同时介绍由于结构的改进将对传统轴承完整性产生什么样的影响.通过分析,微传感器安装在轴承外圈的正下方即载荷最大处最为合理;2)智能轴承结构分析的模型和方法:建立有限元模型,并利用有限元分析方法,分析轴承外圈中安装微传感器的小槽尺寸对外圈结构性能的影响,寻找确定小槽尺寸的的一些规律.研究表明最终影响轴承性能的因素是外圈中应力的变化;3)不同型号轴承中小槽合理尺寸的一些研究:轴承的型号大小多种多样,为了智能轴承的推广,有必要找出一系列常用轴承中安装传感器的小槽尺寸,以便于今后的引用和参考,该文对该问题作了一定的研究,最终得到了外圈的厚度、宽度和半径对小槽尺寸影响的有关规律;4)智能轴承实验台设计:为了下一步进行智能轴承的仿真实验,根据研究的目的,进行了智能轴承综合实验台的设计,包括机械结构设计及液压加载系统的设计.

关键词：智能轴承微传感器开槽有限元分析 ANSYS软件

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