检索结果-内蒙古大学图书馆

自动化学报 2001年第5期27卷 644-650页

作者：谢少荣彭商贤赵新卢桂章天津大学机械学院智能机械研究所天津300072 南开大学机器人与信息自动化研究所天津300071

对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 .此微加速度传感器采用悬臂梁式结构 .论文分析了其静态特性和动态特性 ,建立了悬臂梁变形模型和微加速度传感器动态行为模型 ;讨论了在修改结构尺寸过程中 ,梁长、梁厚对微加速度... 详细信息

对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 .此微加速度传感器采用悬臂梁式结构 .论文分析了其静态特性和动态特性 ,建立了悬臂梁变形模型和微加速度传感器动态行为模型 ;讨论了在修改结构尺寸过程中 ,梁长、梁厚对微加速度传感器的影响 ,并优化了结构参数 ;最后建立虚拟环境 ,进行拟实运行。

关键词：虚拟环境微加速度传感器变形拟实运行建模

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铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟

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光学精密工程 2007年第2期15卷 199-205页

作者：车录锋卢云徐志农中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学机械与能源工程学院浙江杭州310027

给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整... 详细信息

给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响,封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大,但是灌封胶弹性模量很小时(E≤1 GPa)会导致加速度传感器信号失真。模拟结果表明,可以选择弹性模量足够高的材料(E>9 GPa)作为高冲击加速度传感器的灌封材料。

关键词：微加速度传感器封装有限元模拟

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微加速度传感器的结构刚度分析新法

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力学与实践 2006年第4期28卷 68-72,95页

作者：刘妤温志渝杨红韵张流强重庆大学光电工程学院重庆400044 重庆工学院汽车学院重庆400050

微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综... 详细信息

微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．

关键词：微加速度传感器微结构力法能量法主轴刚度

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MEMS微加速度传感器的系统级仿真

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中国机械工程 2005年第Z1期16卷 293-295页

作者：刘妤温志渝张流强梁玉前重庆大学重庆400044 重庆工学院重庆400050

概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

关键词： MEMS CAD 微加速度传感器系统级仿真宏模型

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微加速度传感器的研究现状及发展趋势

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光学精密工程 2004年第Z1期12卷 81-86页

作者：刘妤温志渝张流强刘玉奎梁玉前重庆大学光电工程学院重庆400044 重庆工学院车辆工程学院重庆400000 中国电子科技集团公司第24研究所重庆400060

基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

关键词：微加速度传感器 MEMS

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微加速度传感器硅微结构设计

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传感器技术 2000年第2期19卷 23-25页

作者：金磊高世桥李文杰北京理工大学机电工程系北京100081

:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。

关键词：微机电系统微加速度传感器硅微结构设计

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微加速度传感器自检测技术研究

微加速度传感器自检测技术研究

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作者：郑国光哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，利用体硅微机械工艺制作的电容式加速度传感器具有制作工艺简单等特点，已经受到广泛的关注。\n 由于硅微机械加速度传感器上述的巨大优势，... 详细信息

加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，利用体硅微机械工艺制作的电容式加速度传感器具有制作工艺简单等特点，已经受到广泛的关注。\n 由于硅微机械加速度传感器上述的巨大优势，在各个领域得到广泛的应用，因此，可靠性备受重视。本文就是对可靠性的一种实现方法—自检测技术进行研究。本文的工作是分析传感器自检测原理的基础上，确定自检测的方案，利用有限元分析软件ANSYS进行结构仿真，利用MATLAB/SIMULINK对传感器进行系统级仿真，并对带有自检测功能的加速度传感器进行测试与分析。\n 采用直流电压作为驱动的自检测方式。通过ANSYS静态和动态仿真，得到结构的灵敏度为1.24nm/g，谐振频率为14kHz。利用MATLAB/SIMULINK对传感器进行系统级仿真，分析得到传感器的灵敏度约为35mV/g，自检测模型分析得到在自检测电压为3.2V时就可以产生1g的等效加速度信号。测试包括灵敏度、动态灵敏度、频响、稳定性、温漂在内常规参数的测试，以及传感器自检测功能验证的测试。经过测试，灵敏度为32mV/g，传感器的工作带宽为1500Hz。加载4~5V的自检测电压，产生1g的等效加速度。验证了直流自检测的可行性

关键词：微加速度传感器自检测技术结构仿真等效加速度工作带宽

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抗冲击耐高温微加速度传感器设计