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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 微型加热器平台
  • 1 篇 制造工艺
  • 1 篇 气体传感器
  • 1 篇 二氧化锡薄膜

机构

  • 1 篇 中科院上海微系统...
  • 1 篇 中国科学院固体物...

作者

  • 1 篇 王翊
  • 1 篇 段国韬
  • 1 篇 王跃林
  • 1 篇 郭联峰
  • 1 篇 戴正飞
  • 1 篇 李铁
  • 1 篇 蔡伟平

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微型加热器平台"
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基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者： 郭联峰 王翊 戴正飞 段国韬 蔡伟平 王跃林 李铁 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所 安徽 合肥 230031
文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息
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