检索结果-内蒙古大学图书馆

仪表技术与传感器 1991年第4期 32-32页

作者：紫外

德国奥芬巴赫霍尼威尔公司(Honeywell,Ofpenbach)最近推出了一种新型微型压力传感器。这种微型压力传感器的工作电压为5VDC,输出电压为0.5～4.5V,它与施加的压力大小成正比。新推出的压阻式压力传感器用于负压、表压、绝压及差压测量、... 详细信息

德国奥芬巴赫霍尼威尔公司(Honeywell,Ofpenbach)最近推出了一种新型微型压力传感器。这种微型压力传感器的工作电压为5VDC,输出电压为0.5～4.5V,它与施加的压力大小成正比。新推出的压阻式压力传感器用于负压、表压、绝压及差压测量、测时范围为0～345毫巴或0～1巴,其扁平塑料外壳具有电路板插装引线。

关键词：微型压力传感器

来源：评论

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微型压力传感器

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传感器与微系统 1994年第4期 31-31页

作者：程桂胜

美国ENDEVCO公司最近推出两种新式微型压力传感器,是专为航空和航天、汽车及工业上设计的。8510B/C-M5和8530B/C-M5型压力传感器具有耐用、体积小以及灵敏度高的特点,它有M5的公制螺纹,端面直径仅为3.8mm。8510B/C-M5型是压差传感器,使... 详细信息

美国ENDEVCO公司最近推出两种新式微型压力传感器,是专为航空和航天、汽车及工业上设计的。8510B/C-M5和8530B/C-M5型压力传感器具有耐用、体积小以及灵敏度高的特点,它有M5的公制螺纹,端面直径仅为3.8mm。8510B/C-M5型是压差传感器,使用范围为6.89×10;Pa至1.38×10;Pa。8530B/C-M5型是绝对压力传感器,其使用范

关键词：微型压力传感器

来源：评论

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微型压力传感器

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机械强度 1986年第4期 49-49页

作者：桂林珂

美国Vibrometer公司最近研制成功了一种微型二线压力传感器,它是由一片薄片作成。薄片上用积分微电子技术喷镀上金属敏感元件。这种微型压力传感器结构简单,输出电流很高为4

关键词：微型压力传感器

来源：评论

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微型压力传感器芯片的力学性能分析与研究

微型压力传感器芯片的力学性能分析与研究

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作者：陈雨江苏大学

学位级别：硕士

传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,是构成现代信息产业的三大支柱之一。在各种传感器中,硅压力传感器是应用最为广泛的一种,主要包括压阻式、电容式和谐振式三种类型。目前应用最广泛的是压阻式,其中主要是扩散硅压力传感器... 详细信息

传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,是构成现代信息产业的三大支柱之一。在各种传感器中,硅压力传感器是应用最为广泛的一种,主要包括压阻式、电容式和谐振式三种类型。目前应用最广泛的是压阻式,其中主要是扩散硅压力传感器,其扩散电阻与硅衬底之间是PN结隔离,但当工作温度超过120℃时,PN结漏电加剧,使传感器特性严重恶化以至失效。随着MEMS中新工艺和新材料的出现,压力传感器向微型化和低量程发展,必须进一步提高传感器的灵敏度,在不增加压力和芯片面积的情况下增加电阻上受到的应力,即使硅膜应力集中在电阻上。通常的做法是减小硅膜的厚度。但这样做一方面难以在工艺上控制薄膜的厚度,增大不均匀性;另外,当膜厚度小时,硅膜弯曲属于大挠度的非线性弯曲,导致传感器的非线性急剧增加,从而降低了测量精度,为了同时获得较高灵敏度和较好的线性度,必须对硅膜结构加以改进,代替原来的PN结,提高耐高温性能和稳定性。本文开展微型压力传感器芯片的力学性能分析与研究,为微型高温压力传感器的研究与开发提供理论依据。首先,运用材料力学、弹性力学和板壳理论,分析对比了C型平膜、E型膜和双岛膜三种应变膜结构的应力分布,为下一步的计算机模拟分析和力敏电阻在应变膜上的布置提供理论依据。其次,用有限元分析方法并借助ANSYS仿真软件,对上述三种应变膜进行了计算机模拟,探讨了应变膜表面应力分布、应力模型简化的合理性、应变膜尺寸参数对应力分布,温度对应变膜温度场分布和热应力分布的影响。接着,研究如何用ANSYS软件实现芯片的结构优化,建立了双岛型应变膜结构的简化力学模型、优化参数和数学模型、优化分析和控制文件。在设计空间内获得最优结果及其输出输入关系,设计变量和目标函数的变化关系。并设计了传感器上力敏电阻的分布、尺寸及其阻值大小和传感器的制作工艺流程。最后,运用ANSYS软件分别从模态分析、谐响应分析、瞬态结构动力学三个方面对传感器芯片的动态特性进行了研究,得出其动态响应特性。

关键词：微型压力传感器有限元优化设计动态特性工艺流程

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一种基于微型压力传感器的气压高度计设计(英文)

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纳米技术与精密工程 2012年第4期10卷 337-341页

作者：郭奇周兆英熊威刘绍鹏清华大学精密仪器与机械学系北京100084 北京航空工程技术研究中心北京100076 清华大学核能与新能源技术研究院北京100084

基于微型绝压传感器和高度气压关系式,研制了一种气压高度计.高度计的电路由恒流源、专用处理电路、低通滤波器和模/数转换芯片组成.对高度计的性能参数进行了测试.全系统重量小于7 g,工作电压为5 V,工作电流小于10 mA.高度计可以在-50 ... 详细信息

基于微型绝压传感器和高度气压关系式,研制了一种气压高度计.高度计的电路由恒流源、专用处理电路、低通滤波器和模/数转换芯片组成.对高度计的性能参数进行了测试.全系统重量小于7 g,工作电压为5 V,工作电流小于10 mA.高度计可以在-50 m^600 m的高度范围内工作,且分辨力可以达到0.5 m.温度漂移和气压变化会导致高度测量误差,为此设计了一种GPS辅助算法.相应的飞行试验也已完成,结果表明高度计可满足微型飞行器的要求.

关键词：气压高度计微型压力传感器 GPS辅助

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用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器

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机械科学与技术 2005年第3期24卷 312-314,374页

作者：陈爽李晓莹马炳和苑伟政西北工业大学微/纳米系统实验室西安710072

为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测,设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具,并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感... 详细信息

为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测,设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具,并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸,并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为仿真,结果表明达到预期的设计目标。该传感器具有精度高、抗电磁干扰、尺寸小、耗能低等优点。

关键词：微机电系统微型压力传感器法布里-帕罗压力传感器

来源：评论

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新型电容式微型压力传感器

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仪表技术与传感器 2000年第6期 11-13页

作者：冯勇建卓勇许金海厦门大学机电工程系福建省厦门市361005

文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在... 详细信息

文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后。

关键词：电容式微型压力传感器 MEMS

来源：评论

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基于模型识别的高温微型压力传感器

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仪表技术与传感器 2003年第9期 8-9,49页

作者：张丹冯勇建郑志霞厦门大学机电工程系福建厦门361005

高温测量是急需解决的测量问题之一。介绍一种将放大电路与信号传感器件分离的基于模型识别技术的高温微型电容式压力传感器。电阻电容信号滤波网络和信号的模型识别组成一个微型传感系统,在对滤波网络进行激励和模型识别后就可以得到... 详细信息

高温测量是急需解决的测量问题之一。介绍一种将放大电路与信号传感器件分离的基于模型识别技术的高温微型电容式压力传感器。电阻电容信号滤波网络和信号的模型识别组成一个微型传感系统,在对滤波网络进行激励和模型识别后就可以得到变化的电容值。这种MEMS技术制作的硅玻璃键合的电容式压力传感器,可以在小于300℃环境下工作。此高温测量系统既满足高精度测量的要求,也避免了在高温环境中进行信号放大的难题。

关键词：高温测量模型识别微型压力传感器 MEMS 硅玻璃键合电容式

来源：评论

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面向动态压力测量的微型压力传感器敏感结构

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微纳电子技术 2009年第6期46卷 362-365,370页

作者：任卫马炳和吕海峰西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室西安710072

围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研... 详细信息

围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研发实例,利用时域暂态有限元分析,研究了不同厚度的正方形敏感膜片对于正弦、阶跃压力载荷的动态响应情况。研究表明,较小的敏感膜片平面尺寸、较大的膜片厚度有利于获得高的固有频率,从而得到较宽的工作频带、较快的响应速度。

关键词：动态压力测量有限元微型压力传感器动态性能瞬态响应时间

来源：评论

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基于无线数据传输的医用微型压力传感器系统的开发

基于无线数据传输的医用微型压力传感器系统的开发

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作者：黄晗南京理工大学

学位级别：硕士

随着传感器、物联网等技术的不断发展,智慧医疗正逐步实现从概念向实际产品的转变,尤其是随着近年来传感器在微型化、柔性化、智能化等方面不断取得突破,医用微型压力传感器系统等在医学领域正得到越来越广泛的应用。本文结合柔性压力... 详细信息

随着传感器、物联网等技术的不断发展,智慧医疗正逐步实现从概念向实际产品的转变,尤其是随着近年来传感器在微型化、柔性化、智能化等方面不断取得突破,医用微型压力传感器系统等在医学领域正得到越来越广泛的应用。本文结合柔性压力传感技术、无线传感网络以及云平台等技术,设计制作了一种医用微型压力传感器及其配套系统,并主要针对医学上的一种常见的外科病症——骨筋膜室综合征在临床中遇到的无创监测的难题,用于该病症的实时监测和辅助诊断。与目前临床上采用“穿刺”测量筋膜室内压力所不同的是,本系统着眼于骨筋膜室综合征的无创式监测,用医用胶布将一种柔性微型传感单元粘贴于受伤处,通过该柔性传感单元可以实时测量此处压力(外压)的大小,进而可以知道筋膜室内压力的情况,柔性压力传感单元再结合后续的柔性电路通过无线通信的方式将测量到的数据实时地发送给数据汇聚节点,然后数据汇聚节点再将收集到的数据通过串行通信的方式传输给上位机,上位机软件对这些数据处理、存储之后上传到云端服务器。医生和病人及病人家属都可以通过电脑或手机访问云端服务器上存储的压力数据,这样医生就可以通过该系统实时了解患者的病情并由此做出准确判断,能够大大降低误诊的概率。通过本文的工作,设计制作出了全器件物理尺寸仅为55mm*35mm的柔性压力传感器及其配套的无线数据传输和处理系统,整个柔性压力传感器的传感单元及电路板全部采用柔性材料制造,可穿戴性强,并且可以在室内65m的范围内持续无线通信长达48小时。此外,本系统的上位机软件可以将接收到的压力数据实时绘图显示、本地存储以及上传云端服务器。最后,通过一个骨筋膜室综合征的模型仿真实验,证明了骨筋膜室外压与内压存在一定的关系,验证本系统在原理上的可行性。此微型压力传感器系统的架构设计具有良好的扩展性,不仅可以用于骨筋膜室综合征的监测,还可以用于医疗康复等诸多领域,具有十分广阔的应用前景。

关键词：骨筋膜室综合征微型压力传感器柔性电子无线数据传输

来源：评论

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