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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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32 篇 专利
5 篇 期刊文献
3 篇 学位论文
1 篇 成果

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41 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

9 篇 工学
- 8 篇 机械工程
- 1 篇 材料科学与工程（可...
- 1 篇 动力工程及工程热...
1 篇 理学
- 1 篇 物理学

主题

9 篇 微型气体传感器
3 篇 数字产品
3 篇 超低功耗
2 篇 cmos
2 篇 碳纳米管
1 篇 传感器阵列
1 篇 人工神经网络
1 篇 导电性
1 篇 电子鼻
1 篇 可穿戴系统
1 篇 微型电子机械系统
1 篇 热分析
1 篇 mems工艺
1 篇 环境监测
1 篇 模式识别
1 篇 半导体公司
1 篇 介质击穿
1 篇 微型传感器
1 篇 检测
1 篇 纳米毛细管成形

机构

3 篇 西安交通大学
3 篇 上海交通大学
3 篇 青岛芯笙微纳电子...
2 篇 北京瑞泰兴成工程...
2 篇 西安理工大学
1 篇 江苏长三角环境科...
1 篇 南方电网数字电网...
1 篇 天津大学
1 篇 大连医科大学附属...
1 篇 苹果公司
1 篇 奥维尔斯智能科技...
1 篇 福建农林大学
1 篇 中国电子科技集团...
1 篇 深圳普门科技股份...
1 篇 焦作子亮红外传感...
1 篇 上海骐钛机械有限...
1 篇 北京大学
1 篇 合肥微纳传感技术...
1 篇 吉林大学
1 篇 中国矿业大学

作者

3 篇 胡国庆
3 篇 田伟
2 篇 陈鹏
2 篇 王吉喆
2 篇 张荻
2 篇 何昭文
2 篇 赵宇鑫
2 篇 黄大平
2 篇 刘照琦
2 篇 宋安琪
2 篇 陈伟信
2 篇 郭盟亚
2 篇 付钰伟
2 篇 梁文杰
2 篇 苏悦
2 篇 张旺
1 篇 林跃欢
1 篇 徐书生
1 篇 韦杰
1 篇 唐宁

语言

41 篇 中文

检索条件"主题词=微型气体传感器"

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详细简洁

排序：

基于纳米毛细管成形技术的一维纳米线微型气体传感器的制造

基于纳米毛细管成形技术的一维纳米线微型气体传感器的制造

引用

作者：唐宁天津大学

学位级别：博士

基于纳米结构的微型传感器,因其具有非常高的表体比和极低的功耗,在新型传感器的开发中受到了广泛的关注。然而,目前对于纳米结构的制造大多还依靠昂贵的设备和复杂的工艺,极大限制了基于纳米结构的器件在实际生活中的应用。近年来,逐... 详细信息

基于纳米结构的微型传感器,因其具有非常高的表体比和极低的功耗,在新型传感器的开发中受到了广泛的关注。然而,目前对于纳米结构的制造大多还依靠昂贵的设备和复杂的工艺,极大限制了基于纳米结构的器件在实际生活中的应用。近年来,逐渐发展的印刷技术被广泛用于微型电子元器件和芯片的制造,其具有制造成本低、可大面积重复制造的优势。但是由于工艺的限制,传统印刷技术很难实现亚微米甚至纳米结构的稳定制造。针对以上问题,本文从器件的底层做起,采用了基于纳米毛细管成形技术的纳米印刷方法,针对制造过程中的关键工艺参数进行了实验和优化,分别在硬质基底和柔性基底上制备了一维有序导电高分子纳米线阵列,单根纳米线线宽小于100 nm,单次印刷面积可以达到1 cm?1 cm。在纳米线结构成功制备的基础上,将其集成为电阻式微型传感器或传感器阵列的敏感单元,并探究集成后的传感器对NH、NO、挥发性有机化合物的检测性能。主要研究内容和成果包括:1.本文采用了基于纳米毛细管成形技术的纳米印刷方法,通过优化工艺参数和步骤,成功地在硅基底和柔性基底上实现了一维有序导电高分子纳米线阵列的制造,证明了该技术对基底和功能化材料具有很好的适用性。2.在完成纳米线阵列制备的基础上,实现了基于纳米线的硅基微型气体传感器的制造。通过检测NO和NH,对该传感器的气体检测性能和传感机理进行了研究;对比了基于纳米线的器件与薄膜式器件在气体响应上的差别,验证了纳米线结构在检测方面的优势。3.为有效检测和区分不同种类的挥发性有机化合物,本文以氧化石墨烯掺杂的导电聚合物为气敏材料,通过纳米毛细管成形技术开发了基于复合材料纳米线阵列的电子鼻装置,分析了挥发性有机化合物的检测机理,并结合模式识别算法验证了该装置在挥发性有机化合物区分方面的可行性。4.针对柔性器件在气体检测领域的需要,使用纳米毛细管成形技术实现了基于PEODT:PSS纳米线的柔性微型气体传感器的制备,并对该传感器的机械性能、气体检测性能进行了分析;通过设计具有阻抗检测功能的电路板和可实时显示阻抗的手机APP,在集成柔性微型传感器的情况下,实现了基于纳米线的手机交互式可穿戴气体检测系统的制造,并验证了该系统在有毒气体检测和食物腐败过程监测方面的应用潜力。

关键词：纳米毛细管成形纳米线微型气体传感器柔性电子可穿戴系统

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双参数微型气体传感器的研究

双参数微型气体传感器的研究

引用

作者：徐嘉佳北京大学

学位级别：硕士

该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,通过对微型气体传感器研究现状的仔细分析,发现现有的气体传感器均不能实现对被测气体分子荷质比的检测.... 详细信息

该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,通过对微型气体传感器研究现状的仔细分析,发现现有的气体传感器均不能实现对被测气体分子荷质比的检测.为此该文设计并制作了一种新颖的可进行气体分子荷质比检测的微型气体传感器.在总体设计的基础上,运用ANSYS有限元分析软件对结构进行了模拟,并根据模拟的结果对结构进行了优化设计.在确定了最终的传感器结构以后,用Tinner软件进行了版图的绘制.

关键词：微型气体传感器微型电子机械系统谐振式传感器荷质比检测

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一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器

一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器

引用

作者：宋轶佶曾庆平车颜贤李翔张浩何峰 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

本发明公开了一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器，包括上支撑层、探测器芯片、激光器芯片、集成电路模块、电路板和下支撑层；所述激光器芯片、集成电路模块和电路板均安装在下支撑层上，所述探测器芯片安装在上支撑层上，所述上支... 详细信息

标准号: CN117007553A

本发明公开了一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器，包括上支撑层、探测器芯片、激光器芯片、集成电路模块、电路板和下支撑层；所述激光器芯片、集成电路模块和电路板均安装在下支撑层上，所述探测器芯片安装在上支撑层上，所述上支撑层与下支撑层之间设有由多孔散射材料构成的多孔气室。本发明采用多孔材料作为吸收池气室，显著提高了激光与被测气体的共振吸收，能在厘米量级实现米量级的光程，可显著缩小传感器的体积。

关键词：上支撑层集成电路模块电路板激光器芯片探测器芯片下支撑层气室微型气体传感器激光吸收光谱被测气体多孔材料共振吸收厘米量级散射材料吸收池支撑层传感器光程激光

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一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器

一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器

引用

作者：徐书生蒋文凯蒋梦琳朱剑波李运凤王鑫泽 215100 江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路99号启迪大厦2101室A区R.01办公室(集群登记)

本发明公开了一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器，该制作工艺包括以下步骤：通过预先配置的多组溶液混合制得带有羧基、羟基的石墨烯量子点；选择可以对特定气体分子具有响应能力的官能团分子；将所述官能团分子与带有羧基、羟基... 详细信息

标准号: CN113740382A

本发明公开了一种微型气体传感器的制作工艺及其传感器，该制作工艺包括以下步骤：通过预先配置的多组溶液混合制得带有羧基、羟基的石墨烯量子点；选择可以对特定气体分子具有响应能力的官能团分子；将所述官能团分子与带有羧基、羟基的石墨烯量子点进行嫁接，并制备出带指定官能团的石墨烯量子点；通过预先配置的材料进行叉指电极的制备；将所述带指定官能团的石墨烯量子点滴在带有所述叉指电极的硅片上形成一层薄膜覆盖于电极之上。有益效果：本发明既保留了石墨烯量子点优异的导电性能，又能发挥官能团对气体分子的特异性响应以及可以制作成整体尺寸在微米级的气体传感器，节约能耗并且安全可靠，不用反复加热还可以延长传感器的使用寿命。

关键词：石墨烯量子点官能团分子叉指电极气体分子预先配置制作工艺传感器羟基羧基制备微型气体传感器气体传感器特异性响应薄膜覆盖导电性能反复加热溶液混合使用寿命响应能力电极微米级硅片量子能耗嫁接节约保留制作

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一种基于热效应的微型气体传感器

一种基于热效应的微型气体传感器

引用

作者：胡国庆田伟 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室

本发明公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PC... 详细信息

标准号: CN113049634B

本发明公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口；所述红外探测器和微加热器均采用MEMS工艺制作而成。本发明所公开的微型气体传感器具有体积小、成本低、制备简单、容易批量生产等优势，在气体敏感膜吸附气体分子并发生反应后，可通过红外探测器检测气体敏感膜表面的温度变化，实现更快的响应速度。

关键词：红外探测器微加热器气体敏感膜微型气体传感器支撑体进气口热效应体内吸附气体分子相对设置出气口电连接体积小腔体制备响应检测制作生产

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半导体微型气体传感器及其制备方法

半导体微型气体传感器及其制备方法

引用

作者：谭则杰李鹏田兵王志明韦杰徐振恒聂少雄林跃欢张佳明刘胜荣 510700 广东省广州市黄埔区中新广州知识城亿创街1号406房之86

本发明涉及一种半导体微型气体传感器及其制备方法。上述半导体微型气体传感器包括基底以及设置在所述基底上的多个传感单元，所述传感单元包括电极组件以及连接于所述电极组件的气敏膜，所述气敏膜的材料包括金属掺杂的金属氧化物，至... 详细信息

标准号: CN117554436A

本发明涉及一种半导体微型气体传感器及其制备方法。上述半导体微型气体传感器包括基底以及设置在所述基底上的多个传感单元，所述传感单元包括电极组件以及连接于所述电极组件的气敏膜，所述气敏膜的材料包括金属掺杂的金属氧化物，至少有两个所述传感单元的所述气敏膜中所述金属的种类和/或摩尔百分比不同。上述半导体微型气体传感器在基底上设置多个传感单元，传感单元的气敏膜的材料包括金属掺杂的金属氧化物，并且至少有两个传感单元的气敏膜中金属的种类和/或摩尔百分比不同，使得多个传感单元实现针对不同气体的灵敏度不同，能一次性实现多个目标气体的检测，能够检测混合气体中目标气体的类型和浓度。

关键词：传感单元气敏膜微型气体传感器基底半导体金属氧化物摩尔百分比电极组件金属掺杂金属多个目标混合气体目标气体灵敏度一次性检测制备

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一种多层级结构的微型气体传感器及其制备方法

一种多层级结构的微型气体传感器及其制备方法

引用

作者：姚龙超高翔吴卫红蒋依蔚郑成航张成健吴杰田江磊杨洋翁卫国 314000 浙江省嘉兴市秀洲区东升西路1300号

本发明提供一种多层级结构的微型气体传感器，包括由下到上依次设置的基片、底绝缘层和至少两个气敏单元层，底绝缘层与基片之间设有加热‑测温电极，各个气敏单元层之间紧密贴合；每个气敏单元层包括由下到上依次设置的多孔绝缘层和气... 详细信息

标准号: CN117214240A

本发明提供一种多层级结构的微型气体传感器，包括由下到上依次设置的基片、底绝缘层和至少两个气敏单元层，底绝缘层与基片之间设有加热‑测温电极，各个气敏单元层之间紧密贴合；每个气敏单元层包括由下到上依次设置的多孔绝缘层和气敏膜，多孔绝缘层与气敏膜之间设有测量电极；其中，多孔绝缘层的横截面积分别大于测量电极的覆盖面积和气敏膜的覆盖面积，气敏膜完全覆盖测量电极。本发明充分利用不同气体分子在多层级结构的气敏膜上的反应差异，增强气体检测的选择性；利用气体扩散过程时间差异提供的额外信息，增强了信号分离能力，与时间序列动态信号处理算法结合后可有效提高多气体组分分离检测能力。

关键词：多孔绝缘层测量电极气敏单元气敏膜绝缘层依次设置多层级敏膜微型气体传感器动态信号处理额外信息反应差异紧密贴合气体分子气体检测气体扩散时间差异时间序列算法结合信号分离组分分离电极测温覆盖加热检测

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硅基共平面微型气体传感器芯片及制备微型气体传感器

硅基共平面微型气体传感器芯片及制备微型气体传感器

引用

作者：张彤马晓康费腾王丽杰王蕊贺媛 130012 吉林省长春市前进大街2699号

本发明属于微纳电子器件技术领域，具体涉及一种建立在硅基底上、加热电极和信号电极共居于同一介质平面上的硅基共平面低功耗微型气体传感器芯片及用于制备微型气体传感器，该结构传感器可实现在较低温度下工作。本发明所述的微型气体... 详细信息

标准号: CN102358612A

本发明属于微纳电子器件技术领域，具体涉及一种建立在硅基底上、加热电极和信号电极共居于同一介质平面上的硅基共平面低功耗微型气体传感器芯片及用于制备微型气体传感器，该结构传感器可实现在较低温度下工作。本发明所述的微型气体传感器芯片是利用常规热氧化法在<100>晶向的Si基片上制做SiO₂绝缘层；采用半导体平面工艺，在绝缘层SiO₂上依次溅射Ti粘附层和Pt电极层(加热电极和信号电极)；然后经过光刻、划片，得到共平面型微气体传感器的芯片。本发明制备的气体传感器芯片功耗低，远远优越于悬臂梁型微传感器。本发明工艺简单，成本低廉，功耗较小，易于集成。

关键词：微型气体传感器绝缘层气体传感器加热电极信号电极芯片半导体平面工艺结构传感器电子器件发明工艺介质平面平面型微芯片功耗悬臂梁型电极低功耗硅基底热氧化粘附层传感器功耗光刻硅基划片溅射制做

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一种基于热效应的微型气体传感器

一种基于热效应的微型气体传感器

引用

作者：胡国庆田伟 266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室

标准号: CN113049634A

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一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器

一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器

引用

作者：王曙东李运甲华梦涵王博洋谢骁 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

本发明公开了一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器，包括封装管壳，封装管壳的空腔内分别设置有集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器，集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器之间电连接，集成电路芯片用于控制MEMS红... 详细信息

标准号: CN116165146A

本发明公开了一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器，包括封装管壳，封装管壳的空腔内分别设置有集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器，集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器之间电连接，集成电路芯片用于控制MEMS红外光源的工作状态，并读取MEMS压力传感器的输出信号，MEMS红外光源用于将电学信号转换为光学信号，MEMS压力传感器用于将声学信号转换为电学信号。本发明具有体积小、成本低、精度高、可靠性好等优势，可以实现多种气体的实时监测，具有较好的应用前景。

关键词：集成电路芯片电学信号封装管壳微型气体传感器读取光学信号声学信号实时监测输出信号电连接体积小转换空腔声光应用

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