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微结构气敏传感器与电子鼻
微结构气敏传感器与电子鼻
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电子所在国内首先采用MEMS技术研制成功低功耗硅基膜片型微结构气敏传感器。当工作温度为300℃时其功耗小于75mW。该种微结构单元已达到同类器件的国际水平。用液延生长和热氧化法(RGTO)、射频(RF)溅射法等制备SnO_2基敏感薄膜,研制出... 详细信息
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