检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：虞承端徐新芬董全成刘福英中国科学院合肥智能机械研究所

该成果主要用于风洞快速测量、风机自动测试系统、及气密性、透气度精密测试仪器的一次代表。是微小压力差测量的传感器,其主要技术关键是解决传感器的分辨率和稳定性,采用了半导体应变片作为检测元件,结构设计及制造工艺上采取了特殊... 详细信息

标准号: 0500900371

该成果主要用于风洞快速测量、风机自动测试系统、及气密性、透气度精密测试仪器的一次代表。是微小压力差测量的传感器,其主要技术关键是解决传感器的分辨率和稳定性,采用了半导体应变片作为检测元件,结构设计及制造工艺上采取了特殊的技术措施,从而使传感器的分辨率和稳定性达到科技攻关的合同指标,而且也满足了实际使用的要求。

关键词：传感器微差压传感器风流压差测量

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单片机在微差压传感器温度补偿中的应用

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传感器技术 2001年第12期20卷 42-44页

作者：王晔卢致续董玉荣信息产业部电子第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001

研制了一种精确可靠的微差压传感器 ,为提高传感器的温度性能 ,利用单片机对传感器进行温度补偿。

关键词：微差压传感器单片机温度补偿

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一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造

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仪表技术与传感器 2009年第4期 105-106页

作者：尤彩红张文栋王文襄中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 昆山双桥传感器测控技术有限公司江苏昆山215325

介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实... 详细信息

介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。

关键词：微差压传感器微电子机械系统无应力封装

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微差压传感器膜片成型技术的研究

微差压传感器膜片成型技术的研究

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第六届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：李颖李妍君吴丁民章学群沈阳仪器仪表工艺研究所(辽宁)

微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果，实践证明，... 详细信息

微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果，实践证明，方法简便易行，工艺重复性、一致性好，在生产中收到实效。

关键词：微差压传感器膜片成型技术

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动态微差压传感器校准装置的研究

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计量与测试技术 2016年第7期43卷 33-34页

作者：阮晨娇陈亮劳云云宁波市计量测试研究院浙江宁波315040

对微差压传感器的种类和现状进行简要介绍。主要对动态微差压传感器的校准装置进行设计,解决了实验室无法校准动态微差压传感器的难题,并对校准中出现的大气压带来的压力修正做了介绍。

关键词：动态微差压传感器校准装置

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电容式微差压传感器制作、模拟与测试

电容式微差压传感器制作、模拟与测试

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2000年中国博士后学术会议

作者：车录锋韩明王跃林中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室(上海)

本文提出了一种新型的电容式微差压伺服传感器,并论述了其结构组成和制作工艺.并对其进行了有限元模拟和用频率调制电路进行了初步测试,检测结果表明该器件对小于100Pa的差压敏感.

关键词：微差压传感器有限元模拟伺服电极浓硼掺杂

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抗高过载微差压传感器

抗高过载微差压传感器

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2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会

作者：沈绍群王文襄鲍敏杭王麦广刘秀蛾复旦大学电子工程系传感器研究室宝鸡秦岭晶体管厂复旦大学电子工程系传感器研究室宝鸡秦岭晶体管厂宝鸡秦岭晶体管厂

在提高微差压传感器灵敏度的研究过程中,会遇到非线性和稳定性变差,过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效现象。本文提出应力匀散结构和两层岛的限位结构,利用有限元分析和近似解析分析,设计了新的双岛-梁-膜结构,成... 详细信息

在提高微差压传感器灵敏度的研究过程中,会遇到非线性和稳定性变差,过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效现象。本文提出应力匀散结构和两层岛的限位结构,利用有限元分析和近似解析分析,设计了新的双岛-梁-膜结构,成功地研制出抗高过载微差压传感器。样品灵敏度≥30mV/6V/0.3kPa,非线性NL≤±0.25%FS,迟滞≤0.13%FS,标准偏差≤0.08%,总精度为0.4%,过载能力≥140倍满量程。

关键词：微差压传感器过载非线性迟滞

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硅电容微差压传感器过载误差的设计

硅电容微差压传感器过载误差的设计

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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：刘剑李颖张治国张娜沈阳仪表科学研究院有限公司辽宁沈阳110043

硅电容微差压传感器是采用先进的微机械加工(MEMS)技术和工艺,以扩散硅压力传感器的工艺为基础,创新设计和工艺路线研制的一种新型差压传感器,用于工业现场压力、流量等的测量.而过载误差是微差压传感器的重要技术性能参数之一,该参数... 详细信息

硅电容微差压传感器是采用先进的微机械加工(MEMS)技术和工艺,以扩散硅压力传感器的工艺为基础,创新设计和工艺路线研制的一种新型差压传感器,用于工业现场压力、流量等的测量.而过载误差是微差压传感器的重要技术性能参数之一,该参数的优劣直接影响到传感器的后续测量精度.本文简要介绍了硅电容微差压传感器过载误差的设计方法及影响过载误差的因素.从结构设计、原材料的性能参数选择、工艺制作等方面阐述了提高过载误差的设计方法,给出了采用该设计方法研制出样机的测试结果。

关键词：微差压传感器过载误差机械性能测量精度

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用于风洞流速精确测控的微差压传感器设计

用于风洞流速精确测控的微差压传感器设计

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中国空气动力学会五届四次测控会议

作者：尤彩红王冰王文襄施洪昌昆山双桥传感器测控技术有限公司双桥传感器研究所昆山周庄 215325 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所四川绵阳 622662

本文报告了用于风洞流速精密测控的高精度硅压阻微差压传感器的设计与制造.采用梁膜岛复合力敏结构设计获得了低量程下的高输出灵敏度和优良的非线性性能.采用无掩模腐蚀形成应力匀散区及无应力制造与封装技术确保了产品的高稳定与高可... 详细信息

本文报告了用于风洞流速精密测控的高精度硅压阻微差压传感器的设计与制造.采用梁膜岛复合力敏结构设计获得了低量程下的高输出灵敏度和优良的非线性性能.采用无掩模腐蚀形成应力匀散区及无应力制造与封装技术确保了产品的高稳定与高可靠性。

关键词：微差压传感器 MEMS 粱膜岛复合结构无应力制造风洞流速测控无掩模腐蚀

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微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备

微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备

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作者：张敏李刚梅嘉欣 215123 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号

本发明提供了一种微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备，其中，所述微差压传感器包括MEMS芯片，MEMS芯片包括以层叠方式设置的基底、振膜以及背极板，背极板包括相互隔离的第一电极区域和第二电极区域，第一电极区域构成第一电... 详细信息

标准号: CN117842926B

本发明提供了一种微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备，其中，所述微差压传感器包括MEMS芯片，MEMS芯片包括以层叠方式设置的基底、振膜以及背极板，背极板包括相互隔离的第一电极区域和第二电极区域，第一电极区域构成第一电极，第二电极区域构成第二电极，振膜构成第三电极，第一电极与第三电极构成第一电容，第二电极与第三电极构成第二电容；通过第一电连接端向第一电极施加电压激励信号或者高电压信号等方式，驱使振膜产生形变，以改变振膜和背极板之间的间距，来模仿加气流检测；然后通过第三电连接端输出感测到的所述第二电容的变化量，以根据第一预设阈值确定MEMS芯片是否处于劣化状态。

关键词：第一电极第二电极振膜第三电极背极板电容微差压传感器电连接端高电压信号层叠方式电子设备封装结构激励信号劣化状态气流检测施加电压阈值确定变化量形变感测基底预设模仿隔离测试输出

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