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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 pzt薄膜
  • 1 篇 微探针式双晶片测...
  • 1 篇 静态和准静态
  • 1 篇 有限元法
  • 1 篇 微力传感器
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 大连理工大学

作者

  • 1 篇 孟汉柏
  • 1 篇 崔岩

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微探针式双晶片测试系统"
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排序:
硅基PZT压电薄膜力传感器的测试和优化
硅基PZT压电薄膜微力传感器的测试和优化
收藏 引用
第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者: 孟汉柏 崔岩 大连理工大学微系统研究中心
采用MEMS体硅加工工艺制作了三种不同尺寸的硅基PZT压电薄膜悬臂梁式结构。这种结构被用来作为测量毫克级小力的力传感器。PZT压电薄膜在基体Pt/Ti/SiO/Si上用溶胶--凝胶(Sol-Gel)方法制备,然后在600℃下采用分层退火的方式进... 详细信息
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