检索结果-内蒙古大学图书馆

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作者： M·科斯特 J·拜恩特纳 S·基泽尔德国斯图加特

本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑至少两个相同的、分别具有可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)的z传感器芯(20、30)，其中，所述可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)能够分别围绕扭转轴... 详细信息

标准号: CN112543873A

本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑至少两个相同的、分别具有可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)的z传感器芯(20、30)，其中，所述可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)能够分别围绕扭转轴(22、32)扭转；‑其特征在于，这两个z传感器芯(20、30)相对彼此扭转180°地布置在所述衬底(10)上。

关键词：传感器芯非对称可运动衬底微机械惯性传感器扭转扭转轴

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作者： Z·切凯 B·西蒙尼 C·施文克德国斯图加特

本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，其具有：带有第一电极(2)的衬底；和震动质量元件(5)，其中，在所述震动质量元件(5)内部布置有第二电极(3)，其中，所述第二电极(3)双金属构造。

标准号: CN116466106A

关键词：第二电极质量元件微机械惯性传感器震动双金属构造第一电极衬底

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作者： K·佩措尔德 R·沃尔珀特 S·京特 Z·斯库皮恩德国斯图加特

本发明涉及一种微机械惯性传感器，其具有用于测量在第一频带中的惯性参量的第一传感器元件(110，120，130)和用于测量在第二频带中的周期性加速度的第二传感器元件(115，125，135)，其中，所述第二频带至少部分地高于所述第一频带。

标准号: CN115407079A

关键词：测量微机械惯性传感器第二传感器第一传感器参量

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微机械惯性传感器器件

微机械惯性传感器器件

作者： C·阿卡美国加利福尼亚州

微机械惯性传感器(200)，具有测量六个自由度的单个检验质量块(201)。所述单个检验质量块(201)包括：框架(202)；x轴线检验质量块部分(212a，212b)，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及y轴线检验质量块部分(218)，其通过第二挠曲部(2... 详细信息

标准号: CN102597699A

微机械惯性传感器(200)，具有测量六个自由度的单个检验质量块(201)。所述单个检验质量块(201)包括：框架(202)；x轴线检验质量块部分(212a，212b)，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及y轴线检验质量块部分(218)，其通过第二挠曲部(228a，228b)附接至所述框架(202)。所述单个检验质量块(201)在一个微机械结构层中形成，且适于测量单一驱动运动下的关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度。

关键词：检验质量附接挠曲角速度微机械惯性传感器微机械结构线性加速度驱动运动

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作者： L·切克 L·格格 S·霍瓦特德国斯图加特

标准号: CN111071982B

关键词：探测电极衬底微机械惯性传感器补偿电极电偏置偏移寄生变形探测

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作者： J·克拉森 L·特布耶德国斯图加特

微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量... 详细信息

标准号: CN111735986A

微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。

关键词：笛卡尔坐标衬底探测微机械惯性传感器

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微机械惯性传感器器件

微机械惯性传感器器件

作者： C·阿卡美国加利福尼亚州

标准号: CN102597699B

关键词：检验质量附接挠曲角速度微机械惯性传感器微机械结构线性加速度驱动运动