检索结果-内蒙古大学图书馆

作者： J·克拉森 L·特布耶德国斯图加特

微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量... 详细信息

标准号: CN111735986A

微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。

关键词：笛卡尔坐标衬底探测微机械惯性传感器

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微机械惯性传感器

微机械惯性传感器

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作者： J·莱茵穆特德国斯图加特

本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)，该震动质量具有梳状构造的第一电极(20c)；‑固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况... 详细信息

标准号: CN109798972A

本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)，该震动质量具有梳状构造的第一电极(20c)；‑固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的重叠部分(L)限定地小并且小于约35％、优选小于约25％。

关键词：第二电极第一电极衬底微机械惯性传感器震动电极传感梳状优选施加外部

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一种微机械惯性传感器抗温漂结构

一种微机械惯性传感器抗温漂结构

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作者：雷龙海周骏王龙峰王志山永启 610000 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层

本发明公开了一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹... 详细信息

标准号: CN107144275B

本发明公开了一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接，实现了能够从源头上抑制温度变化所导致的梁轴向应力改变，设计简单，成本较低的技术效果。

关键词：微机械惯性传感器环形弹性连接结构紧固直梁双端固支梁抗温敏感质量块技术效果轴向应力锚点源头应用

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用于运行微机械惯性传感器的方法和微机械惯性传感器

用于运行微机械惯性传感器的方法和微机械惯性传感器

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作者： R·舍本 E·贝克塔什 O-A·普吕茨德国斯图加特

本发明涉及一种用于运行微机械惯性传感器的方法以及一种微机械惯性传感器，该微机械惯性传感器尤其构造为加速度传感器。微机械加速度传感器能够具有弹动地受支承的质量体以及柔性的止挡结构和固定结构。固定结构包括固定的电极，并且... 详细信息

标准号: CN114764102A

本发明涉及一种用于运行微机械惯性传感器的方法以及一种微机械惯性传感器，该微机械惯性传感器尤其构造为加速度传感器。微机械加速度传感器能够具有弹动地受支承的质量体以及柔性的止挡结构和固定结构。固定结构包括固定的电极，并且止挡结构紧固在固定结构上。止挡结构包括作用元件和电极。在质量体从初始位置偏移出时，质量体贴靠到作用元件上。通过将电压施加到固定的电极上，静电力在固定的电极与止挡结构的电极之间起作用，以便使具有作用元件的止挡结构向固定的电极的方向且远离质量体地运动。

关键词：电极止挡结构固定的微机械惯性传感器固定结构作用元件质量体微机械加速度传感器加速度传感器电压施加偏移静电力弹动紧固支承

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谐振式微机械惯性传感器

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计测技术 2005年第2期25卷 1-4,45页

作者：樊尚春肖志敏张庆荣北京航空航天大学仪器学院测控系北京100083

对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景。

关键词：谐振式微机械惯性传感器加速度微传感器微陀螺

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电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究

电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究

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中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：蒋庆华苑伟政常洪龙王涛西北工业大学西安710072

本文针对具有差分电容接口的微机械惯性传感器提出了一种基于电荷放大器和相关检测技术的接口电路方案.采用电荷放大器作为电容-电压转换电路,来去除传感器本身以及传输导线引起的寄生电容的干扰.利用PSPICE模拟了桥路的不对称性对电路... 详细信息

本文针对具有差分电容接口的微机械惯性传感器提出了一种基于电荷放大器和相关检测技术的接口电路方案.采用电荷放大器作为电容-电压转换电路,来去除传感器本身以及传输导线引起的寄生电容的干扰.利用PSPICE模拟了桥路的不对称性对电路输出的影响,经过比较采用单载波差分电桥结构以进一步增大电容检测的灵敏度.采用相关检测技术进行解调,通过解调电路对前置输出电压和载波信号进行相关运算从而消除电路的宽频噪声;给出了包括布线、接地、去耦等电路工艺的设计原则.采用一组标定电容作为传感器的模型进行了实验,实验电路灵敏度可以达到195V/pF,最小分辨率为1fF.采用该方案能够满足对普通精度的电容式微机械惯性传感器信号的检测.

关键词：微机械惯性传感器信号检测技术微机电系统电容检测接口电路自相关检测电荷放大器

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一种微机械惯性传感器抗温漂装置

一种微机械惯性传感器抗温漂装置

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作者：雷龙海周骏王龙峰王志山永启 610000 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层

本实用新型公开了一种微机械惯性传感器抗温漂装置，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环... 详细信息

标准号: CN206891449U

本实用新型公开了一种微机械惯性传感器抗温漂装置，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接，实现了能够从源头上抑制温度变化所导致的梁轴向应力改变，设计简单，成本较低的技术效果。

关键词：微机械惯性传感器环形弹性连接结构紧固直梁双端固支梁抗温本实用新型敏感质量块技术效果轴向应力锚点源头应用

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一种微机械惯性传感器的三维封装方法

一种微机械惯性传感器的三维封装方法

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作者：王永王玉朝易华祥余才佳任伶 710065 陕西省西安市雁塔区电子一路92号

本发明属于微机械惯性传感器封装领域，具体涉及一种微机械惯性传感器的三维封装方法。本发明采用三氧化二铝陶瓷烧成用于惯性微机械传感器的三维封装结构，该结构具有两个互相垂直的正方形端面，两个端面直接通过金属沟槽联通，将装载... 详细信息

标准号: CN107285274A

本发明属于微机械惯性传感器封装领域，具体涉及一种微机械惯性传感器的三维封装方法。本发明采用三氧化二铝陶瓷烧成用于惯性微机械传感器的三维封装结构，该结构具有两个互相垂直的正方形端面，两个端面直接通过金属沟槽联通，将装载有微机械惯性传感器的敏感元件的标准定制陶瓷管壳接到三维封装结构的一个正方形端面上，再将三维封装结构的另一正方形端面按照对应的引脚定义焊接到基板上，能够实现对微机械惯性传感器的三维封装，并且具有体积小、结构简单、正交性好的特点。

关键词：微机械惯性传感器三维封装结构正方形端面三维封装三氧化二铝陶瓷微机械传感器标准定制互相垂直金属沟槽敏感元件陶瓷管壳体积小正交性基板联通烧成引脚封装装载

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一种高过载微机械惯性传感器的封装方法

一种高过载微机械惯性传感器的封装方法

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作者：王永易华祥王刚 710076 陕西省西安市雁塔区锦业路129号

本发明属于微机械惯性传感器封装领域，具体涉及一种高过载微机械惯性传感器的封装方法。本发明将微机械惯性传感器的敏感元件共晶焊连接到单晶硅封装结构的圆形端面上，该结构的圆形端面与矩形端面通过弹性梁联结，将该结构的矩形端面... 详细信息

标准号: CN109110727A

本发明属于微机械惯性传感器封装领域，具体涉及一种高过载微机械惯性传感器的封装方法。本发明将微机械惯性传感器的敏感元件共晶焊连接到单晶硅封装结构的圆形端面上，该结构的圆形端面与矩形端面通过弹性梁联结，将该结构的矩形端面和陶瓷管壳通过粘接的方式联结，最后将陶瓷管壳与基板的引脚进行焊接，实现对高过载微机械惯性传感器的封装，利用本发明的方法封装的高过载微机械惯性传感器体积小、结构简单、抗过载能力强。

关键词：微机械惯性传感器封装高过载矩形端面陶瓷管壳联结单晶硅抗过载能力封装结构敏感元件圆形端面弹性梁共晶焊体积小圆形端基板引脚粘接焊接

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一种微机械惯性传感器的三维封装方法

一种微机械惯性传感器的三维封装方法

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作者：王永王玉朝易华祥余才佳任伶 710065 陕西省西安市雁塔区电子一路92号

标准号: CN107285274B

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