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具有两个惯性传感器的传感器系统
具有两个惯性传感器的传感器系统
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作者： D·C·迈泽尔 T·卡特曼 德国斯图加特
本发明涉及一种传感器系统，其具有至少两个微机械惯性传感器，所述至少两个微机械惯性传感器能够运动地与一个衬底连接，其中每一个惯性传感器具有一个功能层，其中所述两个惯性传感器的功能层的厚度不同，其中所述两个惯性传感器彼此... 详细信息
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一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计
一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计
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作者： 金仲和 胡世昌 张霞 朱辉杰 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正... 详细信息
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一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计
一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计
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作者： 金仲和 胡世昌 张霞 朱辉杰 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正... 详细信息
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一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺
一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺
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作者： 胡世昌 金仲和 张霞 朱辉杰 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其... 详细信息
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一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺
一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺
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作者： 胡世昌 金仲和 张霞 朱辉杰 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其... 详细信息
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光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响分析
光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响分析
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 孟丽娜 路文一 航天长征火箭技术有限公司测控部 北京100076
为了降低石英音叉陀螺的正交耦合误差,提高陀螺性能,测试了不同光刻对准情况下的石英音叉敏感元件的正交耦合误差,并测量了石英音叉的形貌,采用有限元分析建立了不同光刻误差的石英音叉仿真模型.通过对仿真结果及测试数据进行分析,结果... 详细信息
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一种用于过载缓冲的微机械芯片
一种用于过载缓冲的微机械芯片
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作者： 易华祥 闫鑫 杜宜璋 710076 陕西省西安市雁塔区锦业路129号
本实用新型属于微机械惯性传感器芯片技术领域，涉及一种用于过载缓冲的微机械芯片。芯片包括：负载粘接区、弹性梁、键合区、衬底区、绝缘层、衬底电极区、电极区；衬底区上面设置有衬底电极区，衬底电极区内设置有电极，衬底区上表面... 详细信息
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