检索结果-内蒙古大学图书馆

仪表技术与传感器 1994年第1期 3-5页

作者：鲍敏杭复旦大学电子工程系

从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化... 详细信息

从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化微镜器件,它由768×576个表面微机械加工的反射镜陈列构成,已用于电视的显示系统,它显示的屏幕尺寸大12英尺。更大规模的2048×1152象素的器件正在研制中。

关键词：微机械微机械技术

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微机械技术及其应用前景(下)

引用

国际航空 1995年第12期 57-59页

作者：徐庆仁刘淑敏

纳米科学技术是在0.1～10O纳米尺度上研究和应用原子、分子结构、特性及其相互作用,并由此发展起来的多学科的基础研究与应用研究紧密联系的新的综合性科学技术.纳米科学技术涉及到现在的所有科学技术领域.1990年3月在美国道尔基摩召开... 详细信息

纳米科学技术是在0.1～10O纳米尺度上研究和应用原子、分子结构、特性及其相互作用,并由此发展起来的多学科的基础研究与应用研究紧密联系的新的综合性科学技术.纳米科学技术涉及到现在的所有科学技术领域.1990年3月在美国道尔基摩召开世界第一次纳米科学技术会议,正式宣告纳米科技的诞生.

关键词：纳米径微机械技术微机械系统

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微机械技术及其应用前景(上)

引用

国际航空 1995年第11期 51-53页

作者：徐庆仁刘淑敏

在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem—MEMS)的崛起.微机电系统是体积非常小、重量很轻的机电一体化产品.其工作状况一般用肉眼是... 详细信息

在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem—MEMS)的崛起.微机电系统是体积非常小、重量很轻的机电一体化产品.其工作状况一般用肉眼是看不见的,必须借助于显微镜或专用仪器来观察.从产品角度看,它是利用微细加工技术将机构及其致动器、控制器、传感器、电源等集成在一个微小体积范围内发挥机械功能的机电一体化产品;从技术角度看,它是机、电、光、磁、化学、自动控制.

关键词：微机械技术微机械系统机械微型化纳米级

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利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究