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欧洲的微机械技术
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光机电信息 1996年 第4期13卷 16-17页
作者: 高晓萍
欧共体制定了自1994年至1998年有关微机械的研究开发计划.其目的是加强欧洲产业的竞争力.预计对信息技术、产业技术、环境技术、生命科学、能源、运输系统以及特定的社会经济研究投资约1兆7000亿日元.计划是根据汽车、医疗、工艺监控三... 详细信息
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世界微型机械高层会议纵览
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国际学术动态 1998年 第4期 74-78页
作者: 周兆英 袁祖武 张延东 张文栋 清华大学精密仪器与机械学系
1997年4月28日至4月30日在加拿大温哥华召开了world Micromachine Summit’97会议。美、日、德、中等13个国家和地区的代表介绍了各国微型机械/微型机电系统研究和开发现状,并就健康、环境、交通和信息4个领域,标准化和新方向两个专题... 详细信息
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微机械技术及其应用前景(下)
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国际航空 1995年 第12期 57-59页
作者: 徐庆仁 刘淑敏
纳米科学技术是在0.1~10O纳米尺度上研究和应用原子、分子结构、特性及其相互作用,并由此发展起来的多学科的基础研究与应用研究紧密联系的新的综合性科学技术.纳米科学技术涉及到现在的所有科学技术领域.1990年3月在美国道尔基摩召开... 详细信息
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微机械技术及其应用前景(上)
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国际航空 1995年 第11期 51-53页
作者: 徐庆仁 刘淑敏
在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem—MEMS)的崛起.微机电系统是体积非常小、重量很轻的机电一体化产品.其工作状况一般用肉眼是... 详细信息
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声学微机械技术
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技术通讯 1995年 第1期5卷 61-62,52页
作者: 程永来
声学微机械技术每年,传声器销售量多达3亿多只,电话、盒式录音机、摄录一体机、个人电脑和助听器是其主要市场。最近在麻省理工学院举行的一个声学会议上,一篇详论比针尖还小的新型硅半导体传声器技术的论文成了会议议论的中心。据... 详细信息
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利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究
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仪器仪表学报 1995年 第S1期16卷 331-335页
作者: 王跃林 金仲和 丁纯 徐义刚 浙江大学
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。
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新产品
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光机电信息 1997年 第3期 38-43页
众所周知,rgF;崩点问题已严重影响着光学元件的产品质量。解决MgF;崩点已成为光学行业,尤其是光学透镜和激光光学元器件生产厂家十分关注和急待解决的技术难题。
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硅基微型系统的应用
收藏 引用
半导体情报 1997年 第4期34卷 58-60页
简单综述了微机械技术的先进性,该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例,并对以下微型系统分别进行了详细介绍:①小型化学分析系统;②空间研究用的微型仪器;③小型流体控制系... 详细信息
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硅基微型系统的应用
收藏 引用
微纳电子技术 1997年 第4期 59-61页
简单综述了微机械技术的先进性,该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例,并对以下微型系统分别进行了详细介绍:①小型化学分析系统;②空间研究用的微型仪器;③小型流体控制系... 详细信息
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微机械及其特性
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半导体情报 1997年 第2期34卷 34-37,40页
作者: 李栓庆
机械工程的扩展领域着手研究并制作和测试了许多微机械样机。弄清了微机械的部分特性和研究课题。
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