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一种用于微机电系统传感器的高精度交互两级估计方法
一种用于微机电系统传感器的高精度交互两级估计方法
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作者： 周洁 李宇 高嵩 陈超波 黄娇茹 宋晓茹 颜宝萍 710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
本发明公开了一种用于微机电系统传感器的高精度交互两级估计算法，包括步骤1，建立具有未知输入扰动的线性离散时间随机系统模型；步骤2，构建与未知输入解耦的广义传感器偏差模型；步骤3，重构系统模型；步骤4，计算状态预测量及其协... 详细信息
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复位信号产生电路和微机电系统传感器
复位信号产生电路和微机电系统传感器
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作者： 邹波 刘孟良 吴霜菊 梁振 312000 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
本实用新型实施例公开了一种复位信号产生电路和微机电系统传感器。该复位信号产生电路包括：上电信号输入端、延时脉冲输出端、以及串联在上电信号输入端和延时脉冲输出端的n个延时模块，其中n为大于或等于1的整数；延时模块包括依次... 详细信息
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一种空腔结构的制备方法和微机电系统传感器
一种空腔结构的制备方法和微机电系统传感器
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作者： 陈思奇 焦继伟 费跃 刘京 201800 上海市嘉定区皇庆路333号3幢北楼3层
本发明实施例公开了一种空腔结构的制备方法和微机电系统传感器，空腔结构的制备方法包括提供衬底，衬底包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面设置有凹槽结构；在第一表面一侧制备至少两层平坦化层，平坦化层覆盖第一表面以及凹... 详细信息
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传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法
传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法
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作者： 乔纳森·亚当·克莱克斯 约恩·奥普里斯 贾斯廷·森 215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏桐路1号
本申请涉及传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法。一种传感器电路，包括微机电系统(MEMS)传感器和集成电路(IC)，所述MEMS传感器包括第一电容元件和第二电容元件，所述IC包括开关网络电路和电容测量电路。所述开关网络电路配... 详细信息
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改进的应力去耦微机电系统传感器
改进的应力去耦微机电系统传感器
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作者： H·托伊斯 T·考茨施 S·比塞尔特 H·弗雷利施 M·豪博尔德 B·克诺特 W·朗海因里希 A·罗特 M·施特格曼 M·福格特 德国德累斯顿
本公开涉及改进的应力去耦微机电系统传感器。例如，一种半导体器件可包括应力去耦结构以至少部分地去耦半导体器件的第一区域和半导体器件的第二区域。应力去耦结构可包括基本垂直于半导体器件的主表面的沟槽集合。第一区域可包括微机... 详细信息
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用于无人机飞行控制系统微机电系统传感器的可靠性评估方法
用于无人机飞行控制系统微机电系统传感器的可靠性评估方法
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作者： 刘连胜 刘大同 刘美 王本宽 彭喜元 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
用于无人机飞行控制系统微机电系统传感器的可靠性评估方法，属于无人机飞行控制系统状态感知技术领域，本发明为解决现有技术没有对微机电系统传感器的可靠性进行评估的问题。本发明所述可靠性评估方法为：通过地面站设置无人机的飞行... 详细信息
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一种微机电系统传感器及其制备方法
一种微机电系统传感器及其制备方法
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作者： 安力佳 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
公开了一种微机电系统传感器及其制备方法，所述传感器包括器件片和盖帽片，其中，所述器件片包括：接地电极；以及功能层，所述功能层与所述接地电极电连接；所述盖帽片包括：第二衬底；第二介质层，位于所述第二衬底的第一表面上；以... 详细信息
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一种微机电系统传感器及其制备方法
一种微机电系统传感器及其制备方法
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作者： 安力佳 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
公开了一种微机电系统传感器及其制备方法，所述传感器包括器件片和盖帽片，其中，所述器件片包括：接地电极；以及功能层，所述功能层与所述接地电极电连接；所述盖帽片包括：第二衬底；第二介质层，位于所述第二衬底的第一表面上；以... 详细信息
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电荷泵电路和微机电系统传感器
电荷泵电路和微机电系统传感器
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作者： 邹波 刘孟良 201202 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼裙楼208室
本发明实施例公开了一种电荷泵电路和微机电系统传感器。电荷泵电路包括：电源信号输入端、电源信号输出端以及串联在电源信号输入端与电源信号输出端之间的n个电荷泵模块；电荷泵模块包括第一输入端、第一输出端、第一充电控制单元、... 详细信息
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一种微机电系统传感器及电子设备
一种微机电系统传感器及电子设备
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作者： 朱恩成 陈磊 张强 王栋杰 丁凯文 胡洪 266100 山东省青岛市崂山区松岭路396号109室
本公开实施例公开了一种微机电系统传感器及电子设备。所述微机电系统传感器包括衬底层、第一电极层和支撑层，所述支撑层设置于所述第一电极层和所述衬底层之间，以使所述第一电极层与所述衬底层之间形成悬空间隙。本公开实施例的一个... 详细信息
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