检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：薛原谢会开王鹏 400000 重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼2单元

公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射... 详细信息

标准号: CN111580265B

公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；定位结构，包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，凸起部和凹陷部中的任意一者位于结构平台上，另一者位于镜面结构上，且凸起部与凹陷部相匹配，其中，结构平台在驱动部的带动下向靠近镜面结构的方向运动，由定位结构将结构平台和镜面结构相互连接匹配，形成微机电系统微镜。通过驱动部来使结构平台朝向镜面结构运动，又有定位部使二者相匹配，提高了微镜的表面质量，且无需人工参与，保护了微镜结构。

关键词：结构平台镜面结构驱动凹陷部凸起部微镜匹配微机电系统微镜驱动器定位结构反射镜面人工参与定位部转动移动支撑制作

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微机电系统微镜及其制作方法

微机电系统微镜及其制作方法

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作者：薛原谢会开王鹏 214000 江苏省无锡市无锡新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园G10-210室

标准号: CN111580265A

关键词：结构平台镜面结构驱动凹陷部凸起部微镜匹配微机电系统微镜驱动器定位结构反射镜面人工参与定位部转动移动支撑制作

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具有止动件的微机电系统微镜装置及其制造方法

具有止动件的微机电系统微镜装置及其制造方法

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作者：文彪中国台湾新竹市

一种具有止动件的微机电系统微镜装置及其制造方法，其中该装置包括中间基板、可移动结构、与可移动结构耦接的至少一个止动件、至少一个挠性件、上盖以及下盖。可移动结构包括具有反射表面的微镜板。挠性件连接止动件及中间基板。与中... 详细信息

标准号: CN113448078A

一种具有止动件的微机电系统微镜装置及其制造方法，其中该装置包括中间基板、可移动结构、与可移动结构耦接的至少一个止动件、至少一个挠性件、上盖以及下盖。可移动结构包括具有反射表面的微镜板。挠性件连接止动件及中间基板。与中间基板接合的上盖具有用于允许可移动结构的移动的第一开口，以及具有面向挠性件的第一侧以及止动件的第一侧的至少一个第一凹部。与中间基板接合的下盖具有用于为所述移动留出空间的第二开口，以及具有面向挠性件的第二侧以及止动件的第二侧的至少一个第二凹部。

关键词：止动件可移动结构中间基板挠性件接合凹部上盖下盖开口微机电系统微镜反射表面微镜板移动耦接制造

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一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法

一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法

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作者：周亮陈巧谢会开 214028 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼3楼

本发明公布了一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征... 详细信息

标准号: CN103472579B

本发明公布了一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下制作成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。本发明结构初始状态就为自倾斜一定角度，便于光路的对准和安装，另外无需特殊的工艺，就能够使微镜达到自倾斜结构，并且在驱动的过程中能够保持中心的固定，同时可以根据设计版图及工艺自由控制其倾斜角度。

关键词：驱动臂镜体微镜微机电系统微镜边框偏转热膨胀系数驱动工艺制作平坦结构倾斜结构倾斜状态热膨胀率自由控制后驱动叠放光路无源制作冷却收缩对准释放

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基于MEMS全景激光雷达的束搅系统设计

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激光与光电子学进展 2024年第22期61卷 288-295页

作者：翟雷应聂胜伟南敬昌王义杰辽宁工程技术大学电子与信息工程学院辽宁葫芦岛125105 辽宁省无线射频大数据智能应用重点实验室辽宁葫芦岛125105

以微机电系统(MEMS)微镜为核心的激光雷达具有高分辨率、小型化、低成本的优点,但存在着扫描角度小,全景系统构建困难等问题。为此,提出了一种新颖的片上全硅集成的360°激光雷达束搅系统。在锥镜顶部设计了柔性梁,形成多维度扭转中... 详细信息

以微机电系统(MEMS)微镜为核心的激光雷达具有高分辨率、小型化、低成本的优点,但存在着扫描角度小,全景系统构建困难等问题。为此,提出了一种新颖的片上全硅集成的360°激光雷达束搅系统。在锥镜顶部设计了柔性梁,形成多维度扭转中心,在锥镜底部设计了MEMS梳齿驱动器驱动的面内扭转及二维扫描联合牵引机构,构建了以锥镜顶部为旋转中心,以底部牵引机构为驱动的360°环带空间动态光束搅系统。采用Coventor有限元软件分析了束搅系统的运动特性。结果表明,四棱锥镜的单个镜面在50 V的驱动电压下,能够获得±29.32°的面内扭角和±1.8°的离面扭角,形成覆盖360°的环形扫描视场和3.6°的纵向视场。所设计的系统解决了目前MEMS激光雷达视场角较小的问题,实现了全景图像采集。该研究为自动驾驶提供了全景激光雷达的理论模型。

关键词：微机电系统微镜棱锥微镜 360°全景成像梳齿驱动器

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