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微机电系统技术
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电子产品世界 1999年 第5期6卷 19-21页
作者： 周兆英 叶雄英 唐飞 朱俊华 汤扬华 卜敏强 清华大学微米/纳米技术研究中心
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微机电系统技术及其在卫星中的应用
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中国航天 2007年 第3期 35-38页
作者： 王晓海
一、微机电系统（MEMS）技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了... 详细信息
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射频微机电系统技术现状
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微波学报 2005年 第6期21卷 58-65页
作者： 金铃 南京电子技术研究所 南京210013
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。
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微机电系统技术及其在卫星中的应用
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卫星电视与宽带多媒体 2006年 第20期 32-34页
作者： 王晓海 刘彦儒
微机电系统(MEMS)技术MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现.它是'Micro ElectroMechanical Systems'的缩写,有的译成'微机电系统',也有译成'... 详细信息
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基于微机电系统技术的微推进器发展简析
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国际太空 2016年 第3期 23-26页
作者： 姚保寅 李辉 许红英 孙棕檀 中国航天系统科学与工程研究院
1发展需求随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开发... 详细信息
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ADI发布3轴运动检测微机电系统技术
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变频器世界 2005年 第12期 18-19页
日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴（XYZ）加速度计集成在一颗低... 详细信息
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一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器
一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器
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作者： 吴亚明 刘京 孙艳美 姚朝辉 徐永康 214203 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路14号
一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器，涉及微机电系统（MEMS）传感器和真空传感器制造领域，包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘，真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极... 详细信息
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一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器
一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器
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作者： 吴亚明 刘京 孙艳美 姚朝辉 徐永康 214203 江苏省无锡市宜兴经济开发区文庄路14号
一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器，涉及微机电系统（MEMS）传感器和真空传感器制造领域，包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘，真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极... 详细信息
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一类基于微机电系统技术的可调光学器件
一类基于微机电系统技术的可调光学器件
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作者： 侯继东 056002 河北省邯郸市第一医院家属院西胡同4楼2单元6号
本发明涉及光通信技术领域，特别是涉及可调衰减器、光学开关以及可调滤波器。在本发明中，光学开关、可调衰减器和可调滤波器中的核心元件都采用微机电系统技术中的表面微机械结构，由薄膜和薄膜之间的腔组成。光学上都为多腔法不里-... 详细信息
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基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
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作者： 赵立波 黄恩泽 蒋庄德 刘志刚 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
本发明公开一种基于微机电系统技术的悬臂梁式密度传感器芯片及其制备方法，所述芯片为采用基于振动原理的梯形硅微悬臂梁结构，引线采用钛-铂-金梁式引线，增设钛-铂-金梁式飞线，采用梯形结构具有高灵敏度的优点，采用钛-铂-金梁式引... 详细信息
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