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文献类型

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  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 仪器科学与技术
    • 2 篇 控制科学与工程
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 2 篇 微杠杠结构
  • 2 篇 差分输出
  • 2 篇 谐振加速度计

机构

  • 2 篇 中国科学院电子学...

作者

  • 2 篇 陈德勇
  • 2 篇 毋正伟
  • 2 篇 陈健
  • 2 篇 陈李
  • 2 篇 王军波
  • 1 篇 chen li
  • 1 篇 chen de-yong
  • 1 篇 wu zheng-wei
  • 1 篇 wang jun-bo
  • 1 篇 chen jian

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=微杠杠结构"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
收藏 引用
纳电子技术 2007年 第7期44卷 282-284页
作者: 陈德勇 陈健 毋正伟 王军波 陈李 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工... 详细信息
来源: 评论
一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
收藏 引用
第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 陈德勇 陈健 毋正伟 王军波 陈李 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工... 详细信息
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