检索结果-内蒙古大学图书馆

浙江工业大学学报 2013年第6期41卷 660-664,676页

作者：董健蒋恒浙江工业大学浙江省特种装备制造与先进加工技术重点实验室浙江杭州310032

在ANSYS的基础上对Zhang等提出的一种基于基底变形的测量微机械薄膜杨氏模量和残余应力的微桥实验进行模拟仿真,改变ANSYS中加载的载荷大小得到一系列载荷-挠度数据点,并通过这些数据点利用相关力学模型,提出了迭代回归和最小二乘法等... 详细信息

在ANSYS的基础上对Zhang等提出的一种基于基底变形的测量微机械薄膜杨氏模量和残余应力的微桥实验进行模拟仿真,改变ANSYS中加载的载荷大小得到一系列载荷-挠度数据点,并通过这些数据点利用相关力学模型,提出了迭代回归和最小二乘法等数值方法来计算薄膜杨氏模量和残余应力;并与ANSYS预设值进行比较,来验证该微桥法力学模型及所利用数值方法的准确性.结果证明:计算得到的薄膜杨氏模量及残余应力与ANSYS预设值之间只有10%至20%的误差,说明利用该实验方法和力学模型测试得到的微机械薄膜杨氏模量及残余应力是比较精确的.

关键词：微桥法薄膜杨氏模量残余应力数值方法

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微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宗登刚王聪和王钻开鲍海飞陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海)

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,... 详细信息

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.分析了误差的来源及其对实验结果的影响.报道了低应力和标准LPCVD氮化硅薄膜的研究结果.

关键词：微机械微桥法 LPCVD氮化硅杨氏模量残余应力弯曲强度

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微细铣削表面粗糙度和残余应力的研究

微细铣削表面粗糙度和残余应力的研究

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作者：朱黛茹哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

随着民用和国防等众多领域对微小型化产品的需求不断增加,人们开始越来越关注微小零件的设计与加工问题。微细铣削加工技术在制造复杂三维几何形状微小零件中具有重要的作用。然而,目前许多由金属材料制成的三维微小零件都是在常规尺寸... 详细信息

随着民用和国防等众多领域对微小型化产品的需求不断增加,人们开始越来越关注微小零件的设计与加工问题。微细铣削加工技术在制造复杂三维几何形状微小零件中具有重要的作用。然而,目前许多由金属材料制成的三维微小零件都是在常规尺寸的超精密机床上加工而成的,这些机床成本高、效率低、能耗大、主轴转速相对较低。而微小型机床不仅有助于提高空间利用率和降低成本,而且由于惯性减小,从而容易达到高速加工和高精度运动控制。因此,进行基于微小型机床的微细铣削表面粗糙度和残余应力的研究对实际生产和科学研究有着重要的现实意义。首先,本文对基于PMAC卡的微小型机床实验样机的进给系统进行了控制参数整定。由于该机床采用压电陶瓷超声电机直接驱动工作台,进给系统的定位精度对机床的加工精度影响很大。因此对机床的进给系统控制参数进行了整定,使其满足一定的要求,为后继的微细铣削试验提供了条件。其次,对硬铝合金LY12材料进行了一系列铣削微槽的试验。先采用二因素析因设计方法,考察了刀具悬伸量L、刀具直径D以及轴向切深ap、每齿进给量fz及其交互作用对表面粗糙度的影响规律。然后,采用响应曲面法中应用最为广泛的中心复合设计试验方法,及回归分析方法建立了铣削微槽表面粗糙度预测模型。利用该预测模型,不仅可以分析比较各参数对表面粗糙度值的影响程度,还可以在铣削前根据加工要求选定合适的铣削参数,从而达到控制优化微细铣削表面粗糙度及提高金属去除率的目的。最后,先通过Deform-3D有限元软件对微细铣削薄膜的过程进行动态仿真,估计其残余应力的范围。然后利用微细铣削技术制作了厚度为10μm左右的3J21弹性合金材料薄膜,并使用纳米压痕仪XP系统测量了薄膜的载荷和位移关系,结合纳米压痕法和微桥力学理论模型计算得到薄膜的弹性模量和残余应力,来验证有限元仿真结果。结果表明,利用微桥法测量微细铣削薄膜的测量方法是可行的。

关键词：微细铣削表面粗糙度残余应力中心复合设计微桥法

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中医用高精度阵列式压力传感器信号处理系统的设计

中医用高精度阵列式压力传感器信号处理系统的设计

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第十二届全国青年通信学术会议

作者：付晶晶姜岩峰北方工业大学信息工程学院微电子中心北方工业大学信息工程学院微电子中心

本文提出了使用“微桥”法制造阵列式传感器的方法。分析了传感器的精度需求、传感器的设计原理及阵列分布。并详细分析了传感器的 CMOS 电路设计和构建方法。从传感器的构造法、膜片的形状的选择、阵列分布及引线设计,分析了提高系统... 详细信息

本文提出了使用“微桥”法制造阵列式传感器的方法。分析了传感器的精度需求、传感器的设计原理及阵列分布。并详细分析了传感器的 CMOS 电路设计和构建方法。从传感器的构造法、膜片的形状的选择、阵列分布及引线设计,分析了提高系统的测量精度、扩大了测量的范围、减少了采样点的数目、减少了引线数目和布线层数、降低了制作工艺困难的方法。

关键词：阵列式传感器微桥法读出电路

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