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光波导微模具飞切加工工艺
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国防科技大学学报 2011年 第5期33卷 54-58页
作者: 彭文强 吴宇列 李圣怡 刘勇 国防科技大学机电工程与自动化学院 湖南长沙410073
针对目前模压制作工艺中高精度的光波导微模具加工工艺比较复杂的问题,基于金刚石超精密机械加工技术在光学元件结构的广泛应用提出了光波导微模具的金刚石飞切高效快速的加工方法。通过超精密飞切加工系统以硬铝为模具材料进行了工... 详细信息
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基于电场驱动3D打印的大高宽比微模具制造
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塑料工业 2022年 第10期50卷 81-88页
作者: 孙銮法 朱晓阳 王瑞 朱晓东 葛文嵩 商帅 周君仪 王泽林 青岛理工大学机械与汽车工程学院 山东青岛266520 临沂新程金锣肉制品集团有限公司 山东临沂276036
微模具纳制造领域具有广泛应用,为了实现大高宽比微模具的低成本、简单化制作,提出一种基于电场驱动3D打印及毛细力光刻的微模具制作方法。首先打印多层大高宽比结构母模板,再将其结构特征转移至聚二甲基硅氧烷(PDMS)凹模具,最... 详细信息
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制作微模具机械加工技术应用与研究
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现代制造工程 2011年 第11期 1-7,16页
作者: 郭云龙 王小鹏 西安交通大学机械工程学院 西安710049
应用机械加工技术制作模具,再通过模具成形型制件,具有简单、经济、制件质量好及生产效率高等优点。基于制造微模具机械加工技术,从加工特点、表面精度和应用场合等方面重点分析了能够制作型腔带有拔模斜度的金属模... 详细信息
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复杂曲面微模具的加工仿真及实验研究
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制造技术与机床 2009年 第6期 105-108页
作者: 白清顺 罗智 杨凯 房晓艳 杨春利 梁迎春 哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 黑龙江哈尔滨150001
采用逆向工程方法获取微模具的点云数据,利用逆向工程软件对点云数据进行处理、曲面重构和误差分析,获得了具有较高曲面造型精度的模具模型。利用UG加工模块,对微模具的数控细铣削加工过程进行仿真,确定合理的切削参数和数控程序。以... 详细信息
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基于等离子活化硅硅键合的微模具制备工艺研究
基于等离子活化硅硅键合的微模具制备工艺研究
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作者: 卓锐 华中科技大学
学位级别:硕士
硅硅直接键合SDB(Silicon Direct Bonding)技术是晶圆键合技术中发展最迅速的新型机械加工技术,在型传感器和执行器制备中有着越来越广泛的应用。SDB有众多优点:两键合硅片的晶向、导电类型、电阻率不受限制;键合层没有中间层... 详细信息
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基于电极损耗及塑料收缩补偿的三维微模具细电火花加工技术研究
基于电极损耗及塑料收缩补偿的三维微模具微细电火花加工技术研究
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作者: 王会 大连理工大学
学位级别:硕士
随着产品的小型化进程不断加速,制造技术、精密制造技术以其产品能够得到高精度、良好的表面质量及较低的材料废除率而受到各行各业的青睐。塑性成型技术以其成型效率高、成型精度好且其制品具有的小型化、零损耗等特点而成为现... 详细信息
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微模具电铸成型工艺研究
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铸造技术 2018年 第12期39卷 2641-2645页
作者: 何俊峰 郑文书 秦艳 郭钟宁 广东工业大学机电工程学院 广东广州510006
针对细电铸成型技术中流道模具的铸层均匀性、铸层气孔和表面粗糙度等工艺问题,提出了控制成型过程中阴极电流密度、增加辅助阴极和阴极平动的方法。通过正交实验对基底蚀刻深度、光刻掩膜厚度、电铸槽温度和阴极电流密度等因素进... 详细信息
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制作微模具机械加工技术应用与研究
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延安职业技术学院学报 2014年 第4期28卷 139-140,146页
作者: 李静 晋中职业技术学院 山西晋中030600
本文主要探讨模具的制作技术,重点介绍LIGA加工模具的技术,包括其原理、工艺特点等,简单介绍其他加工微模具的方法。
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低应力Ni–W/Ni叠层微模具的制备与特性
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电镀与涂饰 2007年 第8期26卷 7-9页
作者: 汪红 姚锦元 戴旭涵 王志民 朱军 赵小林 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030
采用UV-LIGA技术和Ni–W/Ni叠层电镀方法,在喷嘴模具上制备出低应力Ni–W沉积层。研究了热处理条件对低应力Ni–W电沉积层硬度的影响。考察了沉积态及热处理态的Ni–W层、Ni层的耐磨性。结果发现,热处理后Ni–W/Ni叠层微模具界面结合... 详细信息
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面向流控芯片的微模具制造装备研究
面向微流控芯片的微模具制造装备研究
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作者: 陈子辰 浙江大学
该项目研制成功基于微模具的聚合物流控芯片批量制造装备,不仅能批量制造聚合物流控芯片,确保芯片的一致性和稳定性,而且能提高生产效率,大幅降低芯片的单件成本,是一项拥有自主知识产权的、高性能价格比的高技术关键设备。取得的... 详细信息
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