检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：潘力佳中国科学技术大学

学位级别：博士

当前半导体工业的需求是更微细更高密度的加工,微米纳米加工技术的极限一再被突破,设备和加工工艺的费用也不断提高.为了降低费用并且适应器件制备的需要,人们对光刻以外的方法给予了很大的关注,比如近些年出现的软刻蚀、纳米压印、通... 详细信息

当前半导体工业的需求是更微细更高密度的加工,微米纳米加工技术的极限一再被突破,设备和加工工艺的费用也不断提高.为了降低费用并且适应器件制备的需要,人们对光刻以外的方法给予了很大的关注,比如近些年出现的软刻蚀、纳米压印、通过高分子自组装制备微纳结构等技术……在这些新兴工艺中,软刻蚀是很有特色的一种,应该引起中国学者的关注.在该博士论文中,将软刻蚀这种微制造新方法和材料学结合起来,制备功能性的材料微结构.同时我们也论述了高分子的热微模塑微结构制备方法.在论文的第二部分,我们介绍了一种利用环氧树脂/水微乳液方法制备硫化镉/硫化铅/环氧树脂纳米复合材料的微反应新方法.

关键词：软刻蚀 PDMS印章微接触印刷微模塑毛细微模塑环氧树脂纳米复合材料微乳液

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用软刻蚀技术制造聚合物微结构

用软刻蚀技术制造聚合物微结构

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作者：金邦坤中国科学技术大学

学位级别：博士

\"软刻蚀\"技术(Soft Lithography)是近年来发展起来的一种新型微制造技术,它是借助中介图形转移元件——弹性印章——把用昂贵设备生成的微图形以简便而又精确的方法复制出来的一类非光刻微制造术.与传统的光刻技术相比,软... 详细信息

\"软刻蚀\"技术(Soft Lithography)是近年来发展起来的一种新型微制造技术,它是借助中介图形转移元件——弹性印章——把用昂贵设备生成的微图形以简便而又精确的方法复制出来的一类非光刻微制造术.与传统的光刻技术相比,软刻蚀具有显著的优点:操作过程简单、成本低廉;不需要复杂昂贵的大型光刻设备,可以在普通实验室很容易地展开;弹性印章一次模塑成型,可多次重复使用;可大面积、成批量制作微图形;不受光学效应的影响,可以突破光刻术的100nm极限;可以方便地在平面或曲面表面制作微细结构;既可以制造二维图形,也可以制造三维的微结构;可以对图形表面的化学性质加以改性控制,等等.过程方便快捷,灵活多变,结合选择性化学刻蚀和诱导成核等手段,可以方便地制备出各种微米、亚微米、纳米级的微细结构,并可进一步制成各种功能性器件,具有极好的潜在应用前景.该论文就是把\"软刻蚀\"这一新型微制造技术结合到高分子科研中来,以制备各种聚合物微结构.我们首先对用于制作弹性印章的硅橡胶体系的组分配比进行了优化选择,并用蒙脱土对其进行了掺杂改性,制备出性能较好的弹性印章;然后利用微接触印刷、微模塑、毛细微模塑等技术在多种聚合物材料上制作出了不同的微结构,并对其操作过程进行了初步的探讨.

关键词：软刻蚀弹性印章微接触印刷微模塑毛细微模塑微结构聚酰亚胺 LB膜

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聚丙烯表面超疏水改性研究

聚丙烯表面超疏水改性研究

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作者：霍正元浙江工业大学

学位级别：硕士

本文以共聚聚丙烯（PP）为基材，通过微模塑—紫外光引发接枝聚合的方法，制备了具有低表面能含氟物质覆盖的微米－纳米粗糙结构的聚丙烯超疏水表面，表面静态水接触角达到170°。以304不锈钢为基材，经蚀刻液处理，在其表面构造微... 详细信息

本文以共聚聚丙烯（PP）为基材，通过微模塑—紫外光引发接枝聚合的方法，制备了具有低表面能含氟物质覆盖的微米－纳米粗糙结构的聚丙烯超疏水表面，表面静态水接触角达到170°。以304不锈钢为基材，经蚀刻液处理，在其表面构造微米级点蚀，以此不锈钢板为模板，通过微模塑的方法，制备了具有微乳突表面结构的PP薄片。采用金相显微镜对不锈钢表面形貌进行表征，扫描电子显微镜(SEM)对PP表面形貌进行表征，采用水接触角测试仪对PP表面的疏水性进行表征。研究了蚀刻液处理时间和温度对不锈钢表面形貌及微模塑后PP表面疏水性的影响，结果表明，通过延长不锈钢片在腐蚀液中的蚀刻时间、提高蚀刻的温度，在一定程度上可以增加不锈钢片表面的粗糙度，采用该法制备的PP表面静态水接触角达到135°。以紫外光引发液相接枝聚合的方法，将甲基丙烯酸十二氟庚酯(DFMA)接枝到光滑PP表面，接枝后的PP进行傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、表面元素分析(EDS)、水接触角(WCA)测量仪和差示扫描量热分析仪(DSC)等表征。系统地研究了蚀刻处理条件、引发剂浓度、单体浓度以及反应温度等反应条件对接枝PP疏水性的影响。研究表明，在一定范围内增加等离子刻蚀时间和功率、增加引发剂浓度和单体浓度、提高接枝反应温度、延长反应时间等均有利于提高接枝率，制备的接枝PP表面静态水接触角达到155°。最后，将以上两种方法结合起来，在微模塑法构建的PP片材的粗糙表面，利用紫外光引发含氟基团接枝，实现了PP表面的超疏水改性。采用扫描电子显微镜(SEM)、X－射线光电子能谱(XPS)分析及水接触角(WCA)测试。研究表明，微米－纳米级粗糙结构与含氟聚合物接枝的共同作用，大幅提升了PP表面的超疏水效果。

关键词：聚丙烯微模塑紫外接枝微-纳结构超疏水

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仿生超亲水EVOH超滤膜的制备及其抗污染性能研究

仿生超亲水EVOH超滤膜的制备及其抗污染性能研究

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作者：胡翠翠河北工业大学

学位级别：硕士

超滤是一种处于微滤与纳滤之间的膜过滤过程,其利用膜两侧的跨膜压差为驱动力,以膜表面的孔来实现大分子物质的截留,只允许小分子物质透过。相比于其他的膜过滤过程,超滤过程在分离过程中具有节能、处理效率高、无二次污染等优点。受贻... 详细信息

超滤是一种处于微滤与纳滤之间的膜过滤过程,其利用膜两侧的跨膜压差为驱动力,以膜表面的孔来实现大分子物质的截留,只允许小分子物质透过。相比于其他的膜过滤过程,超滤过程在分离过程中具有节能、处理效率高、无二次污染等优点。受贻贝效应的启发,本文采用在膜表面构造粗糙结构协同涂覆亲水性物质的方法制备具有超亲水性的超滤膜。采用微模塑协同浸没凝胶法的方法制膜,铸膜液被刮制在模板表面上,随后将液膜及模板放入到一定温度的凝固浴中完成相分离过程,固化成膜,将膜从模板上撕离,获得底面具有微结构的微孔膜。相比于光滑模板得到的膜,砂纸为模板得到的膜面有很多复制而来的微结构,从而赋予膜表面较好的亲水性。在实验过程中,探究了不同目数的砂纸得到的膜的结构与性能,优选出最佳的制膜模板。由于模塑过程发生在膜的底面,指状孔横穿膜的本体结构,指状孔与膜面微结构相连,使得微结构极容易塌陷而造成膜的不可逆的损坏。因此,在最佳模板条件下采用调控凝固浴组成与凝固浴温度的方法对膜的结构进行调控,确定最佳的凝固浴温度及凝固浴组成。由于微孔膜对于超滤过程并不适用,因此,若要达到超滤过程,需要对微孔膜进行一定的覆膜工作。为了确保涂覆层的均匀性及涂覆层的厚度,确定覆膜方式为喷涂,覆膜溶液选用海藻酸钠的水溶液(SA)与聚乙烯醇的水溶液(PVA),分别确定最终的涂覆浓度:SA:6wt%,PVA:8wt%,之后分别进行交联处理。在此条件下得到的复合超滤膜,覆膜物质均匀的覆盖在膜面上,实现对BSA的高效截留率(99%)。以一定浓度的腐殖酸水溶液作为天然水体溶液,进行4个周期的连续操作,从通量衰减情况及通量恢复情况进行抗污染性能分析:每个周期中,亲水性最强的SA复合膜的通量下降率最小,光滑膜的通量下降率最大;清洗过程中,膜面具有微结构的膜的恢复性能最佳,表明微结构的存在对于膜性能的恢复具有重要的意义。同时以大肠杆菌溶液探究所得膜的抗生物污染性能:具有仿生微结构的膜具有最好的抗生物污染性能和最好的清洗效果。

关键词： EVOH 超滤膜超亲水微模塑浸没凝胶法

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D—M—ECompany公司开发出可用于微模塑新型热浇道系统

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模具工程 2009年第8期 42-42页

日前，D—M—E公司推出5000系列新型微模塑热浇道系统。它能使客户按标准模式对商用材料的应用进行优化，并将工程材料及填充材料用于高性能产品。标准的5000系列热浇道系统采用了以钛为原料制成的、用于点浇口硬质固定板，可改善隔热... 详细信息

日前，D—M—E公司推出5000系列新型微模塑热浇道系统。它能使客户按标准模式对商用材料的应用进行优化，并将工程材料及填充材料用于高性能产品。标准的5000系列热浇道系统采用了以钛为原料制成的、用于点浇口硬质固定板，可改善隔热效果。此外，该系统还采用了装有挡板和小型线圈的加热器，可加快商用材料的传热过程。

关键词：热浇道系统微模塑开发填充材料标准模式高性能产品工程材料隔热效果

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聚合物基底微电机定子的研制

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微细加工技术 2006年第4期 34-38页

作者：刘波张平吴一辉杨杰伟中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

介绍了一种微模塑工艺,可用于制作以聚合物为基底的微电机定子,从而提高了电机的可靠性,降低了制造成本。双面密集微沟槽(100μm×70μm)阵列是定子基底的一大特点,其初始图形用MEMS技术刻制在硅片上,再利用PDMS良好的柔性、弹性和... 详细信息

介绍了一种微模塑工艺,可用于制作以聚合物为基底的微电机定子,从而提高了电机的可靠性,降低了制造成本。双面密集微沟槽(100μm×70μm)阵列是定子基底的一大特点,其初始图形用MEMS技术刻制在硅片上,再利用PDMS良好的柔性、弹性和复型分辨率特性制作过渡模版,通过图形转移技术成功地解决了刚性脱模难的问题。通过在室温下固化12 h和在80℃中后固化0.5 h,可模塑出完好的薄片状环氧树脂基底,制得了厚度为0.6 mm、线圈组外径为20 mm的聚合物基定子。

关键词：平面线圈微模塑微沟槽模版固化

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软刻蚀技术