检索结果-内蒙古大学图书馆

宿州教育学院学报 2006年第5期9卷 108-109,111页

作者：王奕安徽医科大学安徽合肥230032

软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低成本途径。软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称。本文... 详细信息

软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低成本途径。软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称。本文将主要介绍软刻蚀技术原理、方法以及应用。

关键词：软刻蚀微接触印刷微模塑毛细微模塑近场光刻蚀弹性模板

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用微模塑直接在聚合物曲面上制备微图形(英文)

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Chinese Journal of Chemical Physics 2003年第4期16卷 326-330页

作者：潘力佳金邦坤何平笙陈磊中国科学技术大学高分子科学与工程系合肥230026

用聚二甲基硅氧烷制备的 ,表面复制有微图形的“弹性印章”直接在聚乙烯 ,聚丙烯 ,聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯等热塑性聚合物表面上进行热微模塑 ,无需复杂设备并可在普通实验室条件下 ,复制微图形 ,甚至在小试管外壁的曲面上或在用毛... 详细信息

用聚二甲基硅氧烷制备的 ,表面复制有微图形的“弹性印章”直接在聚乙烯 ,聚丙烯 ,聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯等热塑性聚合物表面上进行热微模塑 ,无需复杂设备并可在普通实验室条件下 ,复制微图形 ,甚至在小试管外壁的曲面上或在用毛细管形成的微突起表面上也能制备出微曲面图形 .讨论了不同聚合物对生成微图形的影响 ,认为结晶性聚合物以及在温度变化时有较大收缩率的聚合物在微模塑中难以获得清晰图形 .

关键词：微模塑聚乙烯聚丙烯聚苯乙烯聚甲基丙烯酸甲酯

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TiO_2微图纹结构的制作

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Chinese Journal of Chemical Physics 2004年第2期17卷 215-218页

作者：刘建平何平笙中国科学技术大学高分子科学与工程系合肥230026

用软刻蚀技术中具有代表性的方法———微模塑法和转移微模塑法 ,在普通光学玻璃表面成功制备出TiO2 微阵列结构 .首先 ,以钛酸四丁酯为前驱物 ,通过溶胶凝胶法合成出TiO2 溶胶 ,然后用表面带有微图纹的有机硅橡胶PDMS作为弹性印章分... 详细信息

用软刻蚀技术中具有代表性的方法———微模塑法和转移微模塑法 ,在普通光学玻璃表面成功制备出TiO2 微阵列结构 .首先 ,以钛酸四丁酯为前驱物 ,通过溶胶凝胶法合成出TiO2 溶胶 ,然后用表面带有微图纹的有机硅橡胶PDMS作为弹性印章分别对所制得的TiO2 溶胶进行微模塑及转移微模塑加工 ,在 70℃下溶胶凝胶 ,进而让凝胶材料在 5 5 0℃下焙烧 2h得到TiO2 微结构 .用光学显微镜对所得到的微结构进行了显微观察 ,显微照片显示 ,微模塑法和转移微模塑法在制备材料微结构方面复制精细度和重复率都比较令人满意 .同时 ,还初步探讨了影响最终图纹复制效果的凝胶温度。

关键词：软刻蚀微模塑转移微模塑二氧化钛

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用软刻蚀方法制备高分子和无机材料的微结构

用软刻蚀方法制备高分子和无机材料的微结构

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作者：潘力佳中国科学技术大学

学位级别：博士

当前半导体工业的需求是更微细更高密度的加工,微米纳米加工技术的极限一再被突破,设备和加工工艺的费用也不断提高.为了降低费用并且适应器件制备的需要,人们对光刻以外的方法给予了很大的关注,比如近些年出现的软刻蚀、纳米压印、通... 详细信息

当前半导体工业的需求是更微细更高密度的加工,微米纳米加工技术的极限一再被突破,设备和加工工艺的费用也不断提高.为了降低费用并且适应器件制备的需要,人们对光刻以外的方法给予了很大的关注,比如近些年出现的软刻蚀、纳米压印、通过高分子自组装制备微纳结构等技术……在这些新兴工艺中,软刻蚀是很有特色的一种,应该引起中国学者的关注.在该博士论文中,将软刻蚀这种微制造新方法和材料学结合起来,制备功能性的材料微结构.同时我们也论述了高分子的热微模塑微结构制备方法.在论文的第二部分,我们介绍了一种利用环氧树脂/水微乳液方法制备硫化镉/硫化铅/环氧树脂纳米复合材料的微反应新方法.

关键词：软刻蚀 PDMS印章微接触印刷微模塑毛细微模塑环氧树脂纳米复合材料微乳液

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微模塑技术在聚合物上刻制微条纹

微模塑技术在聚合物上刻制微条纹

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2001年全国高分子学术论文报告会

作者：何平笙高分子科学与工程系、化学系(安徽合肥) 潘力佳陈磊钱逸泰夏幼南中国科学技术大学 Department of Chemistry University of Washigton (SeattleWA)

本文报道应用软刻蚀之一的微模塑技术在平面、小玻璃管外曲面、毛细管外外壁印制微条纹的实验,以及应用微模塑技术制作微标尺等.

关键词：微模塑软刻蚀聚二甲基硅氧烷聚乙烯微条纹

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微模塑技术在聚乙烯上刻制微条纹

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功能高分子学报 2000年第4期13卷 423-426页

作者：何平笙潘力佳陈磊中国科学技术大学高分子科学与工程系安徽合肥230026

以聚二甲基硅氧烷为弹性印章 ,低密度聚乙烯为材料 ,在平面。

关键词：微模塑软刻蚀聚二甲基硅氧烷聚乙烯微条纹

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用软刻蚀技术制造聚合物微结构

用软刻蚀技术制造聚合物微结构

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作者：金邦坤中国科学技术大学

学位级别：博士

\"软刻蚀\"技术(Soft Lithography)是近年来发展起来的一种新型微制造技术,它是借助中介图形转移元件——弹性印章——把用昂贵设备生成的微图形以简便而又精确的方法复制出来的一类非光刻微制造术.与传统的光刻技术相比,软... 详细信息

\"软刻蚀\"技术(Soft Lithography)是近年来发展起来的一种新型微制造技术,它是借助中介图形转移元件——弹性印章——把用昂贵设备生成的微图形以简便而又精确的方法复制出来的一类非光刻微制造术.与传统的光刻技术相比,软刻蚀具有显著的优点:操作过程简单、成本低廉;不需要复杂昂贵的大型光刻设备,可以在普通实验室很容易地展开;弹性印章一次模塑成型,可多次重复使用;可大面积、成批量制作微图形;不受光学效应的影响,可以突破光刻术的100nm极限;可以方便地在平面或曲面表面制作微细结构;既可以制造二维图形,也可以制造三维的微结构;可以对图形表面的化学性质加以改性控制,等等.过程方便快捷,灵活多变,结合选择性化学刻蚀和诱导成核等手段,可以方便地制备出各种微米、亚微米、纳米级的微细结构,并可进一步制成各种功能性器件,具有极好的潜在应用前景.该论文就是把\"软刻蚀\"这一新型微制造技术结合到高分子科研中来,以制备各种聚合物微结构.我们首先对用于制作弹性印章的硅橡胶体系的组分配比进行了优化选择,并用蒙脱土对其进行了掺杂改性,制备出性能较好的弹性印章;然后利用微接触印刷、微模塑、毛细微模塑等技术在多种聚合物材料上制作出了不同的微结构,并对其操作过程进行了初步的探讨.

关键词：软刻蚀弹性印章微接触印刷微模塑毛细微模塑微结构聚酰亚胺 LB膜

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用微制造法制作光子晶体

用微制造法制作光子晶体

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第四届中国功能材料及其应用学术会议

作者：金邦坤何平笙中国科学技术大学高分子科学与工程系

光子晶体存在着对特定频率的光子禁阻的能带和能隙,是研制新一代光电子器件的一类新型材料,具有广泛的应用前景。决定光子晶体性质的关键之一是其晶格尺寸。随着现代科技的发展,要求这一尺寸越来越小。本文介绍如何利用微模塑和胶体颗... 详细信息

光子晶体存在着对特定频率的光子禁阻的能带和能隙,是研制新一代光电子器件的一类新型材料,具有广泛的应用前景。决定光子晶体性质的关键之一是其晶格尺寸。随着现代科技的发展,要求这一尺寸越来越小。本文介绍如何利用微模塑和胶体颗粒自组装等微制造技术来制备具有理想精细结构的光子晶体。

关键词：光子晶体微制造微模塑胶体颗粒自组装

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纳米器件制备的新方法——微接触印刷术

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化学通报 2000年第12期63卷 12-17,48页

作者：潘力佳何平笙中国科学技术大学高分子科学与工程系合肥230026

微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微... 详细信息

微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。

关键词：微接触印刷术自组装膜微模塑聚二甲基硅氧烷

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文摘

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光机电信息 2000年第8期17卷 35-35页

综述了微机电系统/微机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状.相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩模版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结构成型上有... 详细信息

综述了微机电系统/微机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状.相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩模版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结构成型上有独到优势;同时扫描隧道显微加工技术的开发将微机械向极限尺寸领域推进.微机电系统/微机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微机械加工技术的进一步研究开发.

关键词：微模塑极限尺寸领域微细机械加工微图形文摘检索工具

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