检索结果-内蒙古大学图书馆

微电子机械系统

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电子学报 1995年第10期23卷 37-42页

作者：王跃林苏以撒王文浙江大学香港科技大学

本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。

关键词：微电子机械系统微机械

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微电子机械系统

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科学 2008年第6期60卷 47-49页

作者：陈迪上海交通大学微纳科技研究院

微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System）简称MEMS，是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置。它将自然界各种物理量，如声、光、压力、加速度、温度以及生物、化学物质... 详细信息

微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System）简称MEMS，是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置。它将自然界各种物理量，如声、光、压力、加速度、温度以及生物、化学物质的浓度信息转化为电信号，并将电信号送入微处理器得到指令，指令被随即发送到微执行器上，对自然界的变化做出相应反应。MEMS的特点是体积小、重量轻、能耗低、可靠性高和可批量制造。

关键词：微电子机械系统微系统技术微传感器

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微电子机械系统

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半导体技术 2001年第8期26卷 1-5页

作者：李拴庆付士萍信息产业部电子十三所河北石家庄050051

概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统... 详细信息

概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了ＭＥＭＳ技术的发展趋势与我国的发展现状。

关键词：传感器微电子机械系统执行器

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微电子机械系统的力学特性与尺度效应

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机械强度 2001年第4期23卷 373-379页

作者：梅涛孔德义张培强伍小平中国科学技术大学力学与机械工程系合肥230027 中国科学院合肥智能机械研究所合肥230031

针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了... 详细信息

针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论。

关键词：微电子机械系统硅材料尺度效应微执行器微机器人微机械力学特性

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微电子机械系统的几个力学问题

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机械强度 2001年第4期23卷 380-384页

作者：余寿文清华大学工程力学系北京100084

讨论微电子机械系统 (MEMS)的三个力学问题 :( 1)微系统界面区域的力学性质。 ( 2 )薄膜—基底结构界面的裂纹扩展。 ( 3)微机械的弹塑性—粘着接触力学。文中在简述了研究现状后 ,简要地报导了作者及其合作者对上述三个问题的研究结果。

关键词：微电子机械系统办学界面薄膜基底结构弹塑性-粘着接触力学裂纹扩展

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微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

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兵工学报 2002年第2期23卷 228-230页

作者：王彤宇潘毓学吴一辉贾宏光长春光学精密机械学院吉林长春130022 长春光学精密机械与物理研究所

本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4～ 10 - 7Nm .同... 详细信息

本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4～ 10 - 7Nm .同时 ,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪 ,并对其中的两项关键技术—非接触微力制动和微力自动加载进行了论述。

关键词：微致动器微力矩非接触测量微电子机械系统

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微电子机械系统中微尺度热物性研究进展

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机械强度 2001年第4期23卷 465-470页

作者：余隽唐祯安魏广芬大连理工大学电子工程系大连116023

微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 ... 详细信息

微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 )与常规材料显著不同。设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应 ,并使用合理的热物性参数值 ,才能保证微电子机械系统的热稳定性。本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展。

关键词：微尺度薄膜热物性参数微电子机械系统

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微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究

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机械强度 2001年第4期23卷 503-506页

作者：王丛舜张为斌方竞崔云俊沈健昌盛北京大学力学与工程科学系北京大学微电子学研究所北京100871

力电耦合是大多数微电子机械系统 (尤其是以静电驱动的微机械 )的重要特征。文中采用有限元 (FEM )结合边界元 (BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题 ,利用自行研制的程序给出了几种典型构件 (平行板、悬臂梁和固支梁 )的分析结... 详细信息

力电耦合是大多数微电子机械系统 (尤其是以静电驱动的微机械 )的重要特征。文中采用有限元 (FEM )结合边界元 (BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题 ,利用自行研制的程序给出了几种典型构件 (平行板、悬臂梁和固支梁 )的分析结果 ,并同其他商业软件 (ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较。同时。

关键词：微电子机械系统力电耦合残余应力阈值电压

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微电子机械系统和流体流动

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力学进展 1998年第2期28卷 250-272页

作者： Ho.,CM 方新

出现于８０年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器．这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）．这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域．另一方面... 详细信息

出现于８０年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器．这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）．这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域．另一方面，由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大，在流体流经这些微小机械器件时，表面效应占据了主导地位．为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项．由于它们非常小，气体流动具有很大的Ｋｎｕｄｓｅｎ数，所以边界条件也应加以修正．总之，微电子机械系统（ＭＥＭＳ）不但是一项实用技术，也为流动机理的基础研究提出了许多挑战．

关键词：流动控制微电子机械系统微转换器尺寸效应

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微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析

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机械科学与技术 2001年第B9期20卷 31-34页

作者：高行山林胜勇西北工业大学，西安710072

在微电子机械系统（MEMS）研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域。本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述，分析了该领域目前的研究现状并提出了其今后的发展方向。

关键词：微电子机械系统能量场耦合数值仿真

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