检索结果-内蒙古大学图书馆

微电子学与计算机 1983年第4期 51-57页

作者：田霞边江骊山微电子公司

一、引言随着现代半导体工程的日趋精细、复杂和严格化,使得采用微电子测试图形检测和监控集成电路制作工艺,被人们普遍地重视起来,并且已经被推广到半导体工程中的各个领域和各个环节。我们在研制双极I~2L RAM电路过程中,为了确保其电... 详细信息

一、引言随着现代半导体工程的日趋精细、复杂和严格化,使得采用微电子测试图形检测和监控集成电路制作工艺,被人们普遍地重视起来,并且已经被推广到半导体工程中的各个领域和各个环节。我们在研制双极I~2L RAM电路过程中,为了确保其电路性能稳定、可靠,根据自己的工艺现状,拟定了一项综合性的工艺监控计划。在该计划中,除了常规工艺规程检查之外,还需要特殊设计的微电子测试结构,以便获得所需要的工艺物理参数和电路功能参数。这些测试结构是一些与集成电路工艺相容的微

关键词：薄层电阻 I~2L RAM 欧姆接触电阻发射区微电子测试电路参数测量光刻对准基区测试图形光刻工艺

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微电子测试结构在半导体技术质量管理中的应用

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西北电讯工程学院学报 1982年第4期 40-56页

作者：李良能宋兆元

本文讨论半导体掺杂薄层的数据特性和质量管理方法。对薄层电阻、接触、光掩模对准、线条宽度、器件参数与掺杂的相关性等内容进行了初步试验和分析。将微电子测试结构与质量管理理论结合起来,运用于半导体技术,取得了初步结果。

关键词：微电子测试电路参数测量技术质量管理直方图工序质量薄层电阻

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微电子测试领域的新突破——介绍两种新颖的测试方法

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电子工业专用设备 2001年第1期30卷 62-63页

TZ-601自动探针测试台是我公司新研发的高性价比的中测设备。它具有分辨率高，运行速度快等优点，某些技术指标超过了国外同类产品，同时，为了使该设备更具市场竞争力，我公司技术人员在多年开发探针设备经验的基础上，创造性地研制出... 详细信息

TZ-601自动探针测试台是我公司新研发的高性价比的中测设备。它具有分辨率高，运行速度快等优点，某些技术指标超过了国外同类产品，同时，为了使该设备更具市场竞争力，我公司技术人员在多年开发探针设备经验的基础上，创造性地研制出2种新颖的测试方法，即编辑测试法和圆片测试法，减轻了用户的操作之繁，使该设备的性能更上一个台阶。

关键词：微电子测试编辑测试方法图片测试法

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微电子测试图技术及其计算机辅助测试

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半导体技术 1986年第5期 12-15页

作者：贾新章姚立真叶明西北电讯工程学院

本文介绍了有关微电子测试图技术的几个基本概念,结合我们在调试工艺设备、摸索工艺条件时使用的一套微电子测试图说明采用计算机辅助测试技术的必要性.最后介绍我校研制的WT-2型微电子测试图计算机辅助测试仪,并给出测试结果.

关键词：微电子测试 WT 电路参数测量方块电阻计算机辅助测试计算机辅助技术

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微电子测试结构及其应用和TP-1型测试仪

微电子测试结构及其应用和TP-1型测试仪

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作者：孙沩桂力敏汪宗禹许春芳范焕章贺德洪赖宗生李文蔚陈琳茅有福王一谦华东师范大学

“微电子测试结构”是半导体工艺诊断和控制所必需的工具。该结构包括薄层电阻测试、金属－半导体接触电阻测试、导电层线宽测试、ＭＩＳ测试、平面四探针测试、掩模套准测试、硅－二氧化硅界面应力测试、晶体管测试、集成测试等九个系... 详细信息

标准号: 831425

“微电子测试结构”是半导体工艺诊断和控制所必需的工具。该结构包括薄层电阻测试、金属－半导体接触电阻测试、导电层线宽测试、ＭＩＳ测试、平面四探针测试、掩模套准测试、硅－二氧化硅界面应力测试、晶体管测试、集成测试等九个系列结构，具有通用性，能准确地反映半导体工艺的水平。“ＴＰ－１型测试仪”能按既定程序，对受控的测试结构进行不同方位的电流和电压转换，在将连续测量的数据进行运算后，打印输出结果。该仪器电流源的准确度为０．６％，电压测量准确度为０．２％，打印速度为每秒８－９字。

关键词：测试仪结构微电子测试 TP-1型测试仪微电子测试结构

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用微电子测试结构研究超薄栅介质的可靠性

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电子器件 1991年第4期14卷 8-17页

作者：张安康

本文介绍了几种新颖的微电子测试结构及其应用,诸如栅氧化物可靠性评估、薄介质层击穿以及预示MOS绝缘层的边缘效应.同时讨论了超薄栅介质层的可靠性.

关键词：栅介质可靠性微电子测试 VLSI

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中国船舶集团七〇九所微电子测试校准实验室通过评审 003

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中国船舶报

作者：刘倩丁超

本报讯近日,中国合格评定国家认可委员会(CNAS)、国防实验室认可委员会(DILAC)、国家认证认可监督管理委员会(CMA)组织对中国船舶有限公司旗下第七〇九研究所微电子测试校准实验室进行现场复评审和扩项评审。本次扩项新增冲击试验、可... 详细信息

本报讯近日,中国合格评定国家认可委员会(CNAS)、国防实验室认可委员会(DILAC)、国家认证认可监督管理委员会(CMA)组织对中国船舶有限公司旗下第七〇九研究所微电子测试校准实验室进行现场复评审和扩项评审。本次扩项新增冲击试验、可靠性试验检测能力和校准相关能力,全部通过?

关键词：校准实验室微电子测试

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微电子测试模块及系统

微电子测试模块及系统

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作者：蒋岳敏白红彬向贤森 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区工业园路浦华科技园办公楼203号

本实用新型属于产品测试技术领域，提供了一种微电子测试模块及系统。该微电子测试模块包括定型模板、探头和弹片，定型模板的顶部设有通孔，定型模板的底部设有槽，探头与弹片连接，且一一对应设置，探头的另一端位于通孔，弹片的另一... 详细信息

标准号: CN207181625U

本实用新型属于产品测试技术领域，提供了一种微电子测试模块及系统。该微电子测试模块包括定型模板、探头和弹片，定型模板的顶部设有通孔，定型模板的底部设有槽，探头与弹片连接，且一一对应设置，探头的另一端位于通孔，弹片的另一端固定于定型模板底部的槽内，探头和弹片均为导电介质。本实用新型微电子测试模块及系统，能够提高稳定性能和测试精准度，降低维修率和生产成本。

关键词：定型模板探头微电子测试弹片本实用新型通孔一一对应设置产品测试弹片连接导电介质稳定性能精准度生产成本测试维修

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微电子测试系统

微电子测试系统

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作者：张科新 213164 江苏省常州市武进区鸣新中路22号

本发明公开了一种微电子测试系统，属于微电子技术领域。所述系统包括：至少一个搬运装置、第一输送装置、至少一个用于承载待测试件的承载件和测试线，测试线上由成行排列的至少一个测试底座组成，其中：搬运装置将承载有待测试件的承... 详细信息

标准号: CN108919007A

本发明公开了一种微电子测试系统，属于微电子技术领域。所述系统包括：至少一个搬运装置、第一输送装置、至少一个用于承载待测试件的承载件和测试线，测试线上由成行排列的至少一个测试底座组成，其中：搬运装置将承载有待测试件的承载件从第一输送装置搬运至一个测试底座上，承载有待测试件的承载件位于测试线的第一侧；测试底座对待测试件进行测试，测试底座上固定有弹片，弹片的一端与检测装置的检测引脚电连接，弹片的另一端固定有探头，承载件中设置有供探头伸入的通孔，探头能够伸入通孔与待测试件上的触点相接触；解决了微电子测试过程中探针需要反复更换的问题。

关键词：测试底座承载件测试件测试线探头弹片第一输送装置微电子测试搬运装置待测试件承载伸入通孔微电子技术领域成行排列检测装置电连接中探针触点引脚搬运测试检测

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微电子测试和容错计算领域国际学术带头人闵应骅

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中国高新技术企业 2010年第3期 2-2页

闵应骅,男,汉族,1937年1月出生,湖南宁乡人。1954年毕业于湖南省立第一师范学校,1962年吉林大学毕业,1980年由铁道部公派赴美留学深造。

关键词：学术带头人容错计算闵应骅微电子测试电路参数测量领域

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