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主题

  • 1 篇 微电容式惯性传感...
  • 1 篇 检测电容结构
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 杭州电子科技大学
  • 1 篇 东芝水电设备有限...

作者

  • 1 篇 王光义
  • 1 篇 董林玺
  • 1 篇 许立
  • 1 篇 颜海霞
  • 1 篇 李寿洛
  • 1 篇 孙玲玲
  • 1 篇 陈金丹

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微电容式惯性传感器"
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不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析
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传感技术学报 2010年 第4期23卷 501-507页
作者: 董林玺 李寿洛 陈金丹 颜海霞 许立 王光义 孙玲玲 杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室 杭州310018 东芝水电设备有限公司 杭州311504
改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑... 详细信息
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