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微粒数测量方法

微粒数测量方法

作者：长池宏史日本东京都

标准号: CN102192870A

关键词：排气管散射光微粒数玻璃窗检测器测量方法测量微粒照射激光污垢激光排除

基板清洗装置及处理装置、磨合装置、微粒数的推定方法、污染程度及磨合处理的判定方法

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基板清洗装置及处理装置、磨合装置、微粒数的推定方法、污染程度...

作者：高桥广毅近藤大地今村勇翔日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

本发明是监视清洗部件的污染程度的基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗部件的污染程度判定方法、能够对附着于基板的微粒数进行推定的基板清洗装置、基板处理装置以及附着于基板的微粒数的推定方法。该基板清洗装置具备：保持基板的... 详细信息

标准号: CN115483132A

本发明是监视清洗部件的污染程度的基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗部件的污染程度判定方法、能够对附着于基板的微粒数进行推定的基板清洗装置、基板处理装置以及附着于基板的微粒数的推定方法。该基板清洗装置具备：保持基板的基板保持部；与被保持的所述基板滑动接触且使用从第一喷嘴供给的第一清洗液清洗所述基板的基板清洗部件；在从所述基板保持部离开的退避位置处与所述基板清洗部件滑动接触，并使用从第二喷嘴供给的第二清洗液自清洗所述基板清洗部件的自清洗部件；测量用于所述基板清洗部件的自清洗的所述第二清洗液的排液的物性值的测量单元；以及基于所述排液的物性值来推定附着于清洗后的基板的微粒数的控制部。

关键词：基板清洗基板基板清洗装置清洗液微粒数自清洗推定附着基板处理装置基板保持部物性喷嘴排液清洗测量单元基板滑动清洗部件退避位置污染判定测量监视

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作者：菅野京一奥村英正水野和幸日本国爱知县

微粒数检测器10具备：电荷产生元件、捕集装置、以及个数测定装置。电荷产生元件向被导入至通气管12内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒。捕集装置利用通过电场产生部42而产生的电场，将带电微粒捕集于捕集电... 详细信息

标准号: CN110612442A

微粒数检测器10具备：电荷产生元件、捕集装置、以及个数测定装置。电荷产生元件向被导入至通气管12内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，使其成为带电微粒。捕集装置利用通过电场产生部42而产生的电场，将带电微粒捕集于捕集电极48。个数测定装置基于根据捕集电极48所捕集到的带电微粒的数量而发生变化的捕集电极48的物理量，来检测带电微粒的数量。此处，通气管12具备：由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部13(13a～13d)、以及由杨氏模量比陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与骨架形成部13接触的致密质的应力缓和部14(14a～14d)。

关键词：带电微粒集电极致密骨架形成部捕集装置测定装置电荷产生陶瓷材料杨氏模量通气管捕集物理量检测器电场产生部应力缓和部电场电荷微粒数放电检测

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作者：菅野京一水野和幸奥村英正日本国爱知县

微粒数检测器10具备：蜂窝过滤器20、电荷附加部30、捕集装置40以及个数测定装置60。蜂窝过滤器20将被导入于通气管12内的汽车废气所包含的微粒16中的、以预先确定的在25nm以下的范围内的规定粒径为上限的极小微粒16a选择性地除去。电... 详细信息

标准号: CN109416310A

微粒数检测器10具备：蜂窝过滤器20、电荷附加部30、捕集装置40以及个数测定装置60。蜂窝过滤器20将被导入于通气管12内的汽车废气所包含的微粒16中的、以预先确定的在25nm以下的范围内的规定粒径为上限的极小微粒16a选择性地除去。电荷附加部30向通过蜂窝过滤器20后的废气中的微粒16附加电荷而使其成为带电微粒P。个数测定装置60基于被捕集装置40的捕集电极48所捕集的带电微粒P的电荷的量，对通过蜂窝过滤器20后的废气中的微粒16的数量进行检测。

关键词：蜂窝过滤器电荷测定装置带电微粒废气检测器捕集装置汽车废气预先确定集电极通气管微粒数小微粒捕集粒径检测

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作者：奥村英正水野和幸菅野京一日本国爱知县

微粒数检测器具备控制部，该控制部执行用于求出气体中的微粒的数量的微粒数检测处理。控制部在执行微粒数检测处理时，在已由加热器将通气路加热的状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的... 详细信息

标准号: CN111033217A

微粒数检测器具备控制部，该控制部执行用于求出气体中的微粒的数量的微粒数检测处理。控制部在执行微粒数检测处理时，在已由加热器将通气路加热的状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量，基于与带电微粒捕集电极捕集到的带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。

关键词：加热器微粒数带电微粒物理量检测器电荷量集电极通气路检测捕集加热

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作者：水野和幸奥村英正菅野京一日本国爱知县

提供一种微粒数检测器(10)，其具备陶瓷制的通气管(12)，在通气管(12)中具备：利用气体中放电而产生电荷的电荷产生元件(20)、电场产生电极(42)、捕集电极(44)、电场产生电极(52)、以及除去电极(54)。构成电荷产生元件(20)的诱电电极(24... 详细信息

标准号: CN110214266A

提供一种微粒数检测器(10)，其具备陶瓷制的通气管(12)，在通气管(12)中具备：利用气体中放电而产生电荷的电荷产生元件(20)、电场产生电极(42)、捕集电极(44)、电场产生电极(52)、以及除去电极(54)。构成电荷产生元件(20)的诱电电极(24)埋设于通气管(12)。捕集用电场产生电极(42)及除去用电场产生电极(52)、捕集电极(44)、除去电极(54)、以及构成电荷产生元件(20)的放电电极(22)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。电荷产生元件(20)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。

关键词：通气管电荷产生电场产生电极场产生电极电极集电极内壁面检测器放电电极诱电电极电荷陶瓷制微粒数放电捕集埋设