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作者

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语言

  • 36 篇 中文
检索条件"主题词=悬臂梁表面"
36 条 记 录,以下是31-40 订阅
排序:
一种光纤Bragg光栅动态风速风向仪及其使用方法
一种光纤Bragg光栅动态风速风向仪及其使用方法
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作者: 李川 王敏吉 熊新 赵成均 陈富云 闫思安 刘江 赵振刚 谢涛 650093 云南省昆明市五华区学府路253号
本发明涉及一种光纤Bragg光栅动态风速风向仪及其使用方法,属于光电子测量器件技术领域。本发明包括叶轮、叶轮转轴、转速凸轮、风向标转轴、尾翼、轴承、紧固螺丝、方向凸轮、光纤Bragg光栅、等强度悬臂梁、底座、角度凸轮;叶轮与叶... 详细信息
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一种基于三角柱型旋涡发生体的光纤Bragg光栅涡街流量计及其使用方法
一种基于三角柱型旋涡发生体的光纤Bragg光栅涡街流量计及其使用...
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作者: 李川 薛俊华 肖锋 李英娜 欧阳鑫 杨云飞 650093 云南省昆明市五华区学府路253号
本发明涉及一种基于三角柱型旋涡发生体的光纤Bragg光栅涡街流量计及其使用方法,属于光电子测量技术领域。三角柱型旋涡发生体通过两端的基座固定在测量管内,三角柱型旋涡发生体中部两侧面相通,形成导压腔;在导压腔中,等强度悬臂... 详细信息
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一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
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作者: 李昕欣 李鹏 左国民 王跃林 封松林 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种用于检测由特异性分子结合产生表面应力的集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用,其特征在于采用SOI硅片的氧化埋层作为悬臂梁的主体,在上面构建薄层单晶硅压阻敏感器,压阻上面氧化形成薄二氧化硅... 详细信息
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一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法
一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法
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作者: 王建 吴文刚 郝一龙 王阳元 100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子所
本发明公开了一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法。该传感器是将经过重金属扩散或者伽马射线辐照处理过的金属-硅肖特基二极管嵌入硅悬臂梁适当位置的表面,用以将力学信号转化为电学信号。在悬臂梁的一个表面淀积薄的贵金属层,在... 详细信息
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芯片自发式微电发生器的制作方法
芯片自发式微电发生器的制作方法
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作者: 杨洪波 陈长征 滕玉鹃 130031 吉林省长春市东南湖大路16号
本发明涉及一种芯片自发式微电发生器的制作方法,该方法包括如下步骤:设计微电发生单元结构和阵列形式;用电感耦合等离子刻蚀或利用湿法腐蚀工艺,完成振动质量块和悬臂梁制作;用化学气相沉积工艺在悬臂梁表面制作压电薄膜;用溅射... 详细信息
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基于微悬臂梁平台的蛋白质模式识别方法
基于微悬臂梁平台的蛋白质模式识别方法
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作者: 王萍 樊春海 金彩虹 何丹农 200241 上海市闵行区江川东路28号
本发明涉及一种基于微悬臂梁技术的蛋白质模式识别方法。将含有不同化学基团的化合物修饰于悬臂梁表面作为传感阵列,待测蛋白与该阵列接触反应,不同蛋白与该传感阵列间的分子相互作用力不同,从而造成微悬臂梁偏移中心的距离不同,通... 详细信息
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