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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 工学
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  • 1 篇 数据存储技术
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  • 1 篇 压阻敏感
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  • 1 篇 电热纳米针尖
  • 1 篇 纳机电系统技术
  • 1 篇 悬臂梁-针尖探针

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 陆德仁
  • 1 篇 刘民
  • 1 篇 杨尊先
  • 1 篇 王跃林
  • 1 篇 李昕欣
  • 1 篇 鲍海飞

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=悬臂梁-针尖探针"
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硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2004年 第7期25卷 863-868页
作者: 杨尊先 李昕欣 王跃林 鲍海飞 刘民 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加... 详细信息
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