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学科分类号

  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 微透镜阵列
  • 1 篇 成象式投影光刻系...
  • 1 篇 制作工艺
  • 1 篇 超大规模集成电路
  • 1 篇 光刻胶熔融法
  • 1 篇 形成原理
  • 1 篇 离子束刻蚀法

机构

  • 1 篇 中国科学院西安光...

作者

  • 1 篇 高应俊
  • 1 篇 郝爱花
  • 1 篇 阮驰
  • 1 篇 崔崧

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=成象式投影光刻系统"
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排序:
一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究
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光子学报 2002年 第6期31卷 769-773页
作者: 崔崧 高应俊 阮驰 郝爱花 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学技术国家重点实验室710068
从理论和实验两方面入手 ,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺 ,分析了微透镜阵列的面形结构 ,得到了联系微透镜阵列矢高与制作工艺参量的经验公 .并且将四片微透镜阵列耦合 ,形成一个深紫外光刻的 1 :1成象的多孔径微小光... 详细信息
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