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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

130 篇 专利
2 篇 学位论文

馆藏范围

132 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

2 篇 工学
- 1 篇 仪器科学与技术
- 1 篇 控制科学与工程

主题

2 篇 探针运动
1 篇 随机方法
1 篇 不确定度
1 篇 路径规划
1 篇 实时定位技术
1 篇 原子力显微镜
1 篇 线宽测量
1 篇 纳米操作机器人

机构

7 篇 中国科学院沈阳自...
6 篇 西安交通大学
3 篇 中国科学院大学
3 篇 苏州市惠利达数控...
3 篇 洛阳理工学院
2 篇 深圳市大族数控科...
2 篇 广州市艾佛光通科...
2 篇 天津大学
2 篇 珠海艾派克微电子...
2 篇 国家电网公司
2 篇 山西工程技术学院
2 篇 北京京东方显示技...
2 篇 许继电源有限公司
2 篇 瑞尼斯豪公司
2 篇 许昌许继风电科技...
2 篇 中国科学院苏州生...
2 篇 国网新源控股有限...
2 篇 苏州长城开发科技...
2 篇 中芯国际集成电路...
2 篇 爱尔伯电子医疗设...

作者

9 篇 董再励
6 篇 焦念东
4 篇 吴森
4 篇 刘连庆
4 篇 王志迁
4 篇 陈庚亮
3 篇 李素芳
3 篇 张祥飞
3 篇 王越超
3 篇 张年梅
3 篇 闫红彦
3 篇 吕泽
3 篇 倪明玖
3 篇 宋联美
3 篇 袁帅
3 篇 阳倦成
3 篇 高云峰
3 篇 夏桂福
2 篇 黄鹏
2 篇 崔洪亮

语言

132 篇 中文

检索条件"主题词=探针运动"

共 132 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

基于AFM的线宽测量中探针运动影响及不确定度的研究

基于AFM的线宽测量中探针运动影响及不确定度的研究

引用

作者：肖增文哈尔滨工业大学

学位级别：博士

纳米尺度线宽的测量是纳米计量研究领域中的一个重要问题。它是在纳米尺度对刻线或其它表面特征的宽度进行测量的技术。近年来迅猛发展的半导体集成电路制造业是推动纳米线宽测量技术发展的主要源动力之一。微机电系统和数据存储等领域... 详细信息

纳米尺度线宽的测量是纳米计量研究领域中的一个重要问题。它是在纳米尺度对刻线或其它表面特征的宽度进行测量的技术。近年来迅猛发展的半导体集成电路制造业是推动纳米线宽测量技术发展的主要源动力之一。微机电系统和数据存储等领域的发展同样需要对纳米线宽进行高精度的测量。原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）由于其具有纳米级分辨率的三维成像能力，以及对样本材料和测量环境广泛的适应性而成为纳米线宽测量研究中的重要工具。本文针对目前 AFM测量线宽中所存在的探针膨胀效应问题，进行了基于 AFM的纳米尺度线宽测量技术的研究。\n 分析了AFM的工作原理、仪器结构和工作模式，从形态学的角度提出了一个AFM成像的数学模型。分析了AFM在线宽测量中的应用以及对测量图像影响较大的一些因素，并对AFM探针的膨胀作用、压电晶体的非线性以及测量环境和仪器参数的设置等进行了研究。\n 根据AFM的扫描过程和特点，研究了扫描过程中去除噪声的方法，分析了不同滤波方法对线宽测量结果的影响。研究了图像中物体刻线进行刚体转动和平移的计算方法以及转动后的插值和拟合。为了获得样本的真实几何尺寸信息，剔除测量方法和仪器误差对测量结果的影响，本文建立了一个线宽测量模型和相应算法，并利用Matlab开发了相关软件来计算相应参数。\n 为了研究 AFM轻敲模式下探针振动对测量刻线边墙的影响，建立了AFM轻敲模式工作时的微悬臂振动模型，并在此基础上建立了描述探针顶点振动轨迹的数学模型，分析了微悬臂和探针等参数对探针顶点振动轨迹的影响。建立了AFM轻敲模式成像的数学模型，仿真分析了扫描具有陡峭边墙的样本线宽时由探针振动引起的膨胀效应，该效应使刻线的中部线宽和底部线宽测量值产生了较大失真，并随着探针顶点振动轨迹扫描方向的最大偏移增大而增大。对微悬臂参数、探针轮廓和探针顶点振动轨迹进行了仿真分析，分析结果表明在实际测量中修改微悬臂参数无法消除由振动引起的膨胀效应，不能测得双侧边墙都不失真的刻线，只有通过采用适当形状的探针来解决单侧边墙失真问题。\n 建立了图像重建模型，研究了图像重建如何消除探针膨胀效应的问题。应用纳米管探针测量了刻线线宽，经过图像重建恢复了刻线一侧边墙数据。为了使刻线的两个边墙都能消除由探针引起的失真，采用了一种双图像拼接的方法，把样本旋转180°前后两次测量的图像中边墙失真较小的部分拼成一幅图像。提出了一种基于刻线顶部中线的方法拼接前后两次测量图像，采用图像配准技术中的ICP算法，以两幅图像的中刻线的顶部中线为基准选取点集，实现一幅图像中像素位置对应物理点在另一幅图像中像素位置的定位。\n 研究了样本位置误差的计算和修正方法。用装有纳米管探针的AFM测量了纳米尺度刻线样本，并进行了图像重建和图像拼接。依据测量不确定度估计的相关理论，提出了评定包括来源于图像重建和图像拼接等多种误差的不确定度的方法，建立了使用NanoscopeIII型 AFM测量线宽的不确定度估计体系，并进行了相关评定。计算出了刻线顶部线宽、中部线宽和底部线宽及其合成标准不确定度和扩展不确定度。测量和计算结果表明图像重建和图像拼接对测量不确定度没有明显影响，刻线宽度和边墙角却都得到了较好地改善。图像重建和基于刻线顶部线宽的双图像拼接方法的提出，对消除探针拓宽作用提供了一个新的思路。

关键词：线宽测量原子力显微镜探针运动不确定度

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探针运动机构

探针运动机构

引用

作者：宋洁朱海波张世龙 130012 吉林省长春市高新区云河街95号

本实用新型涉及一种探针运动机构，属于医疗检验仪器。由样本针、试剂针、搅拌棒、一个升降机构和一个旋转机构组成；样本针和试剂针为刚性连接，样本针、试剂针和搅拌棒安装在升降机构上。本实用新型的优点在于：简化了仪器结构，降低... 详细信息

标准号: CN202119653U

本实用新型涉及一种探针运动机构，属于医疗检验仪器。由样本针、试剂针、搅拌棒、一个升降机构和一个旋转机构组成；样本针和试剂针为刚性连接，样本针、试剂针和搅拌棒安装在升降机构上。本实用新型的优点在于：简化了仪器结构，降低了成本，降低了装配工作量，提高了仪器生产工作效率。

关键词：样本升降机构搅拌棒装配工作量刚性连接工作效率探针运动旋转机构医疗检验仪器结构仪器生产

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一种试纸检测用探针运动结构

一种试纸检测用探针运动结构

引用

作者：陈益聪罗小清 350000 福建省福州市仓山区建新镇红江路8号金山工业集中区浦上工业园D区33号楼1层(1-3)、2层、3层、4层(4-3)

本实用新型涉及医疗器械领域，尤其涉及一种试纸检测用探针运动结构。本实用新型包括传输限位机构以及安装在传输限位机构上的探针运动机构；所述传输限位机构包括X轴组件、尿液试管感应板、第一联轴器以及正反转电机；所述X轴组件左右... 详细信息

标准号: CN219161969U

本实用新型涉及医疗器械领域，尤其涉及一种试纸检测用探针运动结构。本实用新型包括传输限位机构以及安装在传输限位机构上的探针运动机构；所述传输限位机构包括X轴组件、尿液试管感应板、第一联轴器以及正反转电机；所述X轴组件左右两侧均分别平行固设有一尿液试管感应板；所述探针运动机构包括安装座、驱动组件以及探针；所述安装座安装设置在X轴组件上，所述安装座两侧中部均分别向下延伸有凸沿，凸沿与尿液试管感应板相对的端面上设置有用于阻隔尿液试管感应板的阻隔铁片。本实用新型的目的在于提供一种试纸检测用探针运动结构，其解决了尿液分析仪中感应模块识别的精准度不高且探针运动结构结构较为复杂，操作效率低的问题。

关键词：尿液试管感应板本实用新型探针运动限位机构安装座探针运动机构试纸检测传输凸沿阻隔医疗器械领域第一联轴器尿液分析仪正反转电机操作效率感应模块结构结构驱动组件向下延伸左右两侧精准度探针铁片平行

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一种探针运动模块

一种探针运动模块

引用

作者：陆健明李涛王正宁黄健恒赵文立 529000 广东省江门市蓬江区永盛路61号

本实用新型公开了一种探针运动模块，包括有线探针和安装于数控机床Z轴上的底座，所述底座上设置有滑轨，所述滑轨上滑动安装有安装架，所述安装架一端连接有用于驱动其在滑轨上滑动的驱动装置，安装架另一端设置有固定架，所述有线探... 详细信息

标准号: CN211332162U

本实用新型公开了一种探针运动模块，包括有线探针和安装于数控机床Z轴上的底座，所述底座上设置有滑轨，所述滑轨上滑动安装有安装架，所述安装架一端连接有用于驱动其在滑轨上滑动的驱动装置，安装架另一端设置有固定架，所述有线探针安装于固定架上。该探针运动模块通过将底座安装于数控机床的z轴上，可以实现机械手与探针动作之间的无缝切换，减少中间的等待时间，不影响效率；而且该探针运动模块的结构紧凑，有线探针占用空间小，成本比较低，适合在结构紧凑的玻璃机和高光机等小机型上安装使用。

关键词：探针运动安装架滑轨探针数控机床固定架底座本实用新型机械手成本比较底座安装滑动安装驱动装置探针安装无缝切换一端连接一端设置影响效率占用空间玻璃机小机型滑动高光驱动

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一种控制胶囊或探针运动的方法

一种控制胶囊或探针运动的方法

引用

作者：段晓东 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号

本发明提供了一种控制胶囊或探针运动的方法，包括以下步骤：步骤一：放置一个胶囊或探针在封闭区；步骤二：采用一个外部旋转磁场，沿着可变轴施加旋转力于胶囊或探针上；步骤三：移动外部磁场来操纵胶囊或探针沿着可变轴在任意方向上... 详细信息

标准号: CN102743174A

本发明提供了一种控制胶囊或探针运动的方法，包括以下步骤：步骤一：放置一个胶囊或探针在封闭区；步骤二：采用一个外部旋转磁场，沿着可变轴施加旋转力于胶囊或探针上；步骤三：移动外部磁场来操纵胶囊或探针沿着可变轴在任意方向上运动。本发明提供的控制胶囊或探针运动的方法，能够实时控制胶囊或探针在一封闭区域的位置，所需磁场较低,设备简单。

关键词：胶囊探针探针运动磁场封闭区域实时控制外部磁场旋转力旋转操纵封闭外部

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一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法

一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法

引用

作者：苏中李擎刘洪刘宁王英剑梅迪 100101 北京市海淀区清河小营东路12号

本发明公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变，进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况，实时地调整探针运动状态。本发明使用的系统主要包括：光纤布拉格光栅应... 详细信息

标准号: CN109708685A

本发明公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变，进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况，实时地调整探针运动状态。本发明使用的系统主要包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。本发明可避免传统的探针运动过程中，由于对操作人员依赖性强、运动控制系统参与度低、探针探测传感器对探针压力的测量精度低，而导致探针因接触不良或接触过深而引起的误判和晶圆破损现象，弥补了传统探针运动控制方法安全性低、测试效率低和测试结果准确度难以得到保证的缺点，具有安全性高、测试效率高、测试结果准确度高的优点。

关键词：探针探针运动光纤布拉格光栅传感器光纤布拉格光栅准确度测试效率晶圆数据处理模块运动控制模块运动控制系统探测传感器温度传感器应变传感器晶粒传统探针接触不良破损现象探针压力运动控制参与度传统的误判感知测量保证

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用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统

用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统

引用

作者：吴浩时梦想 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园留学人员(龙岗)创业园332、333室

本公开描述了一种用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统，该压电陶瓷执行器包括驱动器外壳，设置在驱动器外壳内的压电陶瓷、杠杆、撞针，以及设置在驱动器外壳外的撞针接板；压电陶瓷的一端由可调节的螺丝活动连接在驱动... 详细信息

标准号: CN114646862A

本公开描述了一种用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统，该压电陶瓷执行器包括驱动器外壳，设置在驱动器外壳内的压电陶瓷、杠杆、撞针，以及设置在驱动器外壳外的撞针接板；压电陶瓷的一端由可调节的螺丝活动连接在驱动器外壳内，压电陶瓷的另一端活动连接杠杆的一端，杠杆的另一端活动连接撞针的一端，撞针的主体部分设置在固定于驱动器外壳上的套筒内，撞针的另一端穿过套筒而抵接撞针接板，撞针的另一端开设有安装探针的开槽；其中，压电陶瓷和撞针分别与杠杆相垂直设置。由此，能够在较小的空间内实现对设置在撞针末端的探针的精准且快速的移动控制。

关键词：撞针驱动器外壳压电陶瓷压电陶瓷执行器活动连接杠杆接板探针套筒活动连接杠杆驱动控制系统垂直设置探针运动移动控制可调节抵接开槽螺丝穿过驱动

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一种控制胶囊或探针运动的方法

一种控制胶囊或探针运动的方法

引用

作者：段晓东 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号

标准号: CN102743174B

关键词：胶囊探针探针运动可变轴封闭区域实时控制外部磁场旋转磁场封闭区旋转力磁场施加外部移动

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基于随机方法的纳米操作机器人实时定位与路径规划研究

基于随机方法的纳米操作机器人实时定位与路径规划研究

引用

作者：袁帅中国科学院研究生院

学位级别：博士

纳米技术(Nanotechnology)是指在原子与分子尺度上研究物质的特性和相互作用,以及利用这些特性制备纳米材料,制造纳米器件和系统。纳米尺度上的观测与操作是开展纳米科学研究、纳米尺度事物的新特性发现和器件加工制造的关键技术手段。... 详细信息

纳米技术(Nanotechnology)是指在原子与分子尺度上研究物质的特性和相互作用,以及利用这些特性制备纳米材料,制造纳米器件和系统。纳米尺度上的观测与操作是开展纳米科学研究、纳米尺度事物的新特性发现和器件加工制造的关键技术手段。原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)由于具备分辨率高、重复性好与可控性强的特点而成为目前极具发展潜力的纳米观测与操作工具。\n AFM将探针作为终端执行器用于获取样品表面的特征信息以实现纳米观测,同时还可以对样本施加作用力进行纳米操作。由于在纳米操作环境中存在多种不确定因素,例如探针控制误差、系统温漂、纳米尺度作用力、探针形貌效应等,导致AFM探针难以实现在任务空间中的精确定位和稳定操作。\n 针对上述问题,本论文在环境地图重构的基础上,提出随机思想与路标观测相结合的探针精确定位方法研究;开展基于并发行为的虚拟夹具纳米操作技术研究,以解决单探针操作中存在的不稳定性问题。主要研究内容包括以下几个方面:\n ●探针形貌建模与地图重构:针对探针形貌效应(如展宽效应)引起的操作环境地图描述不精确问题,开展基于盲建模算法的探针模型重构研究。提出一种可提高运算速度与精度的盲建模方法,研究了基于探针形貌建模的环境地图精确重构,并通过仿真和实验验证了该方法的可行性和有效性。\n ●探针作业精确定位:针对探针在任务空间的位置不确定性,本文以概率机器人学的理论方法为基础,将操作环境地图中特征物作为路标,开展基于局部扫描的快速路标观测,建立探针在任务空间中位景的实时最优估算方法,创新性地解决了路标观测与探针扫描运动的耦合相关性难题。\n ●基于概率思想的探针运动建模:在分析PZT滞环、蠕变与温漂等不确定因素影响的基础上,提出了基于概率思想的探针运动建模方法,并开展了相关实验研究和有效性验证,为探针定位提供了基础。\n ●虚拟夹具操作方法:针对探针操作状态不确定性,在路标定位基础上,运用机器人作业路径规划理论方法,构建了虚拟夹具操作方法和监控界面,有效解决了单探针操作的不稳定问题,为定姿态的机器人化纳米操作提供了可实现技术途径。\n ●实验系统构建与实验研究:在上述探针定位与虚拟夹具纳米操作理论方法研究基础上,设计构建了基于AFM的纳米操作平台,系统地设计了模型参数标定方案,开展了大量相关实验研究与方法有效性的验证工作。\n 实验结果表明上述研究方法能够有效改善纳米操作的效率和精确性。\n 本文的理论与实验研究工作,对基于AFM的纳米操作理论研究方法有一定指导意义,为基于AFM的自动化纳米操作技术发展提供了有意义的理论方法。

关键词：随机方法纳米操作机器人路径规划实时定位技术探针运动

来源：评论

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一种适用横端子定压力及厚度自适应调节设备

一种适用横端子定压力及厚度自适应调节设备

引用

作者：李求奖徐雄华丁瑞泽马永平徐臣曹骥曹政 311251 浙江省杭州市萧山经济技术开发区桥南区块高新十一路77号

一种适用横端子定压力及厚度自适应调节设备，包括一长方体的外围机架，机架内设有并排的机架组件；机架组件底部为水箱组件，水箱组件顶部设有进料部件和左右相对的探针运动气缸，探针运动气缸连接探针适应机构,进料部件上表面设有定... 详细信息

标准号: CN118336168A

一种适用横端子定压力及厚度自适应调节设备，包括一长方体的外围机架，机架内设有并排的机架组件；机架组件底部为水箱组件，水箱组件顶部设有进料部件和左右相对的探针运动气缸，探针运动气缸连接探针适应机构,进料部件上表面设有定压力托盘组件，定压力组件内装有电池，并连接可调整压力的电缸。在拘束状态下实现电池膨胀使探针跟随电池膨胀一起随动，可对来料不同厚度的电池适用，使探针与电池极柱接触良好，也杜绝电池充放电过程中膨胀导致电池极柱与探针移位对其充放电造成影响。针对可能出现的火情，灭火警报触发时使电池托盘迅速掉入到水箱中，可以减少常规灭火方式对设备的损伤。从而可以杜绝火灾的发生，杜绝火灾安全隐患。

关键词：探针电池电池膨胀机架组件进料部件水箱组件探针运动极柱电池充放电过程火灾安全隐患可调整压力自适应调节电池托盘警报触发拘束状态灭火方式气缸连接压力托盘压力组件充放电对设备上表面水箱移位电缸火情气缸随动灭火损伤外围膨胀火灾

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