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文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 动力工程及工程热...

主题

  • 1 篇 几何元素推理
  • 1 篇 掩模推导
  • 1 篇 表面微加工
  • 1 篇 mems

机构

  • 1 篇 西安工业大学

作者

  • 1 篇 迟茗文

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=掩模推导"
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排序:
面向特征建模方式的微器件工艺方法研究
面向特征建模方式的微器件工艺方法研究
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作者: 迟茗文 西安工业大学
学位级别:硕士
微型元器件是微机电系统中的重要组成部分,并且在多种行业内得到了非常广泛的应用,因此微器件的工艺设计方法就显得至关重要。目前,微型元器件设计者在设计微器件的同时还需要掌握微器件的加工工艺,这样就使得微器件的开发周期变长、设... 详细信息
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