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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 二维场
  • 1 篇 数字-模拟系统
  • 1 篇 校正函数
  • 1 篇 微细加工

机构

  • 1 篇 山东工业大学

作者

  • 1 篇 王绍钧

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=数字-模拟系统"
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排序:
二维场的一个校正函数
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科学通报 1994年 第23期39卷 2195-2198页
作者: 王绍钧 山东工业大学自动化工程系 济南250014
数字-模拟系统控制的二维偏转场的畸变校正,是束(电子束、光子束等)微细加工的重要技术,其关键问题是如烘给出一个近似的校正函数,一般文献中多采用整式函数.实际的偏转场,不仅存在几烘象差引起的畸变、偏转系统的不对称性等原因,会... 详细信息
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