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文献类型

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 无定型衬底
  • 1 篇 原位恒温处理
  • 1 篇 有机gaas发光器件
  • 1 篇 gaas薄膜生长

机构

  • 1 篇 中国科学院半导体...

作者

  • 1 篇 李晋闽
  • 1 篇 曹国华
  • 1 篇 曾一平
  • 1 篇 曹峻松
  • 1 篇 秦大山

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=无定型衬底"
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排序:
多晶GaAs薄膜的生长及有机GaAs复合发光器件
多晶GaAs薄膜的生长及有机GaAs复合发光器件
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
作者: 曹峻松 秦大山 曹国华 曾一平 李晋闽 中国科学院半导体研究所新材料部 北京100083
研究了在无定型衬底上采用MBE手段生长的GaAs薄膜.在玻璃衬底上,400℃直接生长的GaAs薄膜为无定型态,但经过2个小时的原位恒温(400℃)处理后,无定型态GaAs薄膜变成多晶态,其形态结构与在石英衬底上600℃时直接生长的多晶态GaAs薄膜较为... 详细信息
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