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  • 2 篇 专利

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  • 2 篇 电子文献
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  • 1 篇 拉卡拉支付股份有...
  • 1 篇 中国科学院微电子...
  • 1 篇 北京超弦存储器研...

作者

  • 1 篇 朱家强
  • 1 篇 郑为锋
  • 1 篇 关振宇
  • 1 篇 齐月静
  • 1 篇 武志鹏
  • 1 篇 周光迎
  • 1 篇 王丹
  • 1 篇 苏佳妮
  • 1 篇 姜淼

语言

  • 2 篇 中文
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共 2 条 记 录，以下是1-10 订阅
光刻标记的设计仿真优化方法、系统、电子设备及存储介质
光刻标记的设计仿真优化方法、系统、电子设备及存储介质
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作者： 武志鹏 齐月静 苏佳妮 王丹 姜淼 周光迎 102600 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
本说明书实施例提供了一种光刻标记的设计仿真优化方法、系统、设备及存储介质，其中，方法包括：生成关键指标评价模型；新建或读取光刻标记数据文件；进行光刻标记工艺叠层、光刻标记图案设计及光刻标记测量设备参数设置；进行工艺扰... 详细信息
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数据处理方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品
数据处理方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品
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作者： 关振宇 朱家强 郑为锋 100094 北京市海淀区北清路中关村壹号D1座12层
本公开实施例公开了一种数据处理方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品，所述方法包括：检测目标文件是否被操作；当检测到所述目标文件被操作时，获取目标文件操作时间；将所述目标文件操作时间发送给数据仓库组件，以使所述数据... 详细信息
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