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  • 1 篇 株式会社jel

作者

  • 2 篇 竹越秀和
  • 2 篇 西村理惠子
  • 1 篇 刘泽福
  • 1 篇 结城彻
  • 1 篇 平田树里
  • 1 篇 章健
  • 1 篇 古林刚

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=校正位置数据"
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基于编码器的校正处理方法、装置、设备及介质
基于编码器的校正处理方法、装置、设备及介质
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作者： 章健 刘泽福 215000 江苏省苏州市吴中经济技术开发区郭巷街道淞葭路1000号
本申请涉及一种基于编码器的校正处理方法、装置、设备及介质，涉及编码器技术领域，包括：针对被测编码器，获取双编码器采集位置数据，双编码器采集位置数据包含第一原始位置数据和第二原始位置数据；依据第一原始位置数据和第二原始... 详细信息
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基板的位置对准方法
基板的位置对准方法
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作者： 古林刚 结城彻 平田树里 日本广岛县
包括：使用光学单元，遍及载置到载物台上的基板的整周测定基板的边缘各部分的位置，由此取得表示边缘各部分的位置的一次位置数据的步骤(S31)；使载物台在规定方向上移动规定量，使用光学单元，遍及载物台移动后的基板的整周测定基板... 详细信息
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工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置
工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置
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作者： 西村理惠子 竹越秀和 日本神奈川县
本发明涉及一种工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置，其中，在一方式的工作台机构的位置校正方法中，制作工作台的位置的歪斜量的二维图，使用二维图来校正位置数据，该二维图以下述方法制作：作为在第一方向的各位置中的第... 详细信息
来源： 评论
工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置
工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置
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作者： 西村理惠子 竹越秀和 日本神奈川县
本发明涉及一种工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置，其中，在一方式的工作台机构的位置校正方法中，制作工作台的位置的歪斜量的二维图，使用二维图来校正位置数据，该二维图以下述方法制作：作为在第一方向的各位置中的第... 详细信息
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