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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 模拟键合过程
  • 1 篇 常温溅射
  • 1 篇 高温考核
  • 1 篇 复合金属层
  • 1 篇 mems压力传感器
  • 1 篇 翘曲

机构

  • 1 篇 中北大学

作者

  • 1 篇 梁庭
  • 1 篇 罗后明
  • 1 篇 雷程
  • 1 篇 王旦旦
  • 1 篇 肖楚
  • 1 篇 杜康乐

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=模拟键合过程"
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排序:
MEMS高温压力传感器复合金属层可靠性研究
收藏 引用
仪表技术与传感器 2025年 第2期 22-27页
作者: 杜康乐 雷程 梁庭 肖楚译 王旦旦 罗后明 中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,... 详细信息
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