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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

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学科分类号

  • 1 篇 工学

主题

  • 1 篇 气密性
  • 1 篇 毛细管等效气流模...
  • 1 篇 芯片级原子钟
  • 1 篇 matlab仿真
  • 1 篇 多层缓冲原子腔

机构

  • 1 篇 中国科学院研究生...
  • 1 篇 中科院上海微系统...

作者

  • 1 篇 李绍良
  • 1 篇 张志强
  • 1 篇 徐静
  • 1 篇 吴亚明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=毛细管等效气流模型"
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芯片级原子钟的气密性能分析
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真空科学与技术学报 2012年 第2期32卷 132-139页
作者： 张志强 徐静 李绍良 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、微系统技术重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳... 详细信息
来源： 评论
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